自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀

時(shí)間：2013/1/7閱讀：643

測(cè)厚儀 /自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀

型號(hào)：TP-TPY-2

產(chǎn)品特點(diǎn)：

儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率,，具有精度高,、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn),。光源采用氦氖激光器,，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。

儀器采用USB接口與電腦連接,，配套軟件功能齊全,，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶(hù)的需要,。

規(guī)格與主要指標(biāo)：

測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10

測(cè)量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°

度盤(pán)刻度：每格1度允許樣品尺寸：φ10-φ140mm,，厚度≤16mm

偏振器步進(jìn)角：0.014°/步偏振器方位角范圍：0°- 180°

測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005

儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）

光學(xué)中心高度：80mm

成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng),、USB接口,、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）

主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm

裝箱單

序號(hào)	名稱(chēng)	規(guī)格或型號(hào)	數(shù)量	備注
1	自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī)	TP-TPY-2	1臺(tái)
2	主機(jī)電控箱	TP-TPY-2	1臺(tái)
3	Q9連接線		1根
4	數(shù)據(jù)連接線		1根
5	電源線		2根
6	15線連接電纜		1根
7	USB連接電纜		1根
8	二氧化硅膜樣片		1張
９	軟件安裝盤(pán)	TP-TPY-2	1張
10	使用說(shuō)明書(shū)	TP-TPY-2	1份
11	裝箱單	TP-TPY-2	1份
12	產(chǎn)品合格證	TP-TPY-2	1份

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