FS4000是采用的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器和電子控制,，專為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開發(fā)的產(chǎn)品,。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損,。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控,，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍大到5SLPM,；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類分析儀器,。

FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm,，測(cè)量范圍大到50SLPM,；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè),，如：空氣采樣機(jī),，氣體分析儀等

產(chǎn)品特點(diǎn):

-專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測(cè)量而

-支持多種連接方式，易于安裝與使用

-傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,，無需溫度壓力補(bǔ)償,，保證了傳感器的高精度計(jì)量

-在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高

-輸出方式靈活,，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù),，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

-零點(diǎn)穩(wěn)定度高

-全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

-低功耗,、低壓損

-響應(yīng)速度快

機(jī)械尺寸:

產(chǎn)品特點(diǎn):

性能參數(shù)	FS4003	FS4008	單位
通徑	3	8	mm
大流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重復(fù)性	0.25		%
零點(diǎn)輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/℃
響應(yīng)時(shí)間	10（默認(rèn),，50，100,，200,，500，1000可設(shè)置）		msec
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性,，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	100	600	Pa
大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ + 55		℃
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ + 65		℃
工作濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機(jī)械接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或其他氣體）,，20℃,，101.325kPa
重量	57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口,，68（帶6mm快速接頭)		g

MF4003-2-R-BV-A
MF4003-5-R-BV-A
MF4008-10-R-BV
MF4008-50-R-BV
FS4003-2-R-BV-A
FS4003-5-R-BV-A
FS4008-10-R-BV
FS4008-50-R-CV
FS4001-1000-CVA

氣體質(zhì)量流量計(jì) 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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