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電容電壓特性測試儀訂購指南

時間：2019/5/16閱讀：752

產品名稱：電容電壓特性測試儀

產品型號：HAD-CV-5000

在集成電路特別是MOS電路的和開發(fā)研制中,，MOS電容的C-V測試是極為重要的工藝過程監(jiān)控測試手段,，通過C-V測試達到優(yōu)化過程中的工藝參數(shù)，提高IC成品率,。
MOS（金屬－氧化物－半導體）結構的電容是外加偏置電壓的函數(shù),，MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線（簡稱C－V特性）。C-V曲線與半導體的導電類型及其摻雜濃度,、SiO2-Si系統(tǒng)中的電荷密度有密切的關系,。利用實際測量到的MOS結構的C-V曲線與理想的MOS結構的C-V特性曲線比較，可求得氧化硅層厚度,、襯底摻雜濃度,、氧化層中可動電荷面密度、和固定電荷面密度等參數(shù),。
另外作為組成半導體器件的基本結構的PN結具有電容效應（勢壘電容）,。加正向偏壓時，PN結勢壘區(qū)變窄,，勢壘電容變大,；加反向偏壓時，PN結勢壘區(qū)變寬,，勢壘電容變小,。

HAD-CV-5000型電容電壓特性測試儀是測試頻率為1MHz的化數(shù)字的電容測試儀器，既可用于測試半導體器件PN結的勢壘電容在不同偏壓下的電容量,，也可進行Mos電容的外加電壓掃描測試,，還可測試其它MIS電容。

該電容電壓特性測試系統(tǒng)由主機和上位機（PC）組成,，并在軟件控制下完成校準及測試等功能,，同時顯示C-V電容電壓特性曲線。主機面板上的發(fā)光二極管指示儀器的工作狀態(tài),，用數(shù)碼管組成的顯示板,，將被測元件的數(shù)值，小數(shù)點清晰地顯示出來,。儀器有較高的分辨率,，電容量是五位讀數(shù)，可分辮到0.001pF，偏置電壓分辨力為0.1V,，漏電流分辨力為0.01uA,。

儀器配有HAD-CV-5000型測量座，接插元件靈活,，方便可靠,。

HAD-CV-5000型電容電壓特性測試儀軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，程序操作直觀易用,。測試程序在計算機與CV-5000型電容電壓特性測試測試儀連接的狀態(tài)下,，通過計算機的USB口實現(xiàn)通訊。
測試程序控制電容電壓特性測試測試儀進行測量并采集測試數(shù)據,，把采集到的數(shù)據在計算機中加以分析,，然后把測試數(shù)據以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據在計算機中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據進行各種數(shù)據分析。

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