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ROSI600系列氧分析儀參數
閱讀:2089 發(fā)布時間:2021-9-29ROSI600系列氧分析儀主要在于滿足硅產業(yè)對于分析的低靈敏度和高精度的要求,。一般通過力可固態(tài)紅外檢測系統(tǒng)的靈敏度與我們全新設計的進樣系統(tǒng)和可編程脈沖爐相結合,。
ROSI600系列氧分析儀提供準確和精確的氧含量的結果,比如硅片材料中氧的分析結果,。低靈敏度和高精度也被應用到其他金屬工業(yè),,比如電子工業(yè)中對高純度銅中氧含量的測定需求。
ROSI600系列氧分析儀特征
1,、非色散固態(tài)紅外檢測器,,高精度,高分辨率,;
2,、可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐;
3,、分析精度及準確度精確至ppm級別,;
4、低空白值,,配置適合硅片進樣的進樣口,;
5、配置具有安全保護性能的試劑容器,;
6,、儀器全新的氣路設計需要更少的維修;
7,、氧含量輸入采用ppma格式,;
ROSI600系列氧分析儀特點
試樣的進樣系統(tǒng)設計可連續(xù)樣品加載,低大氣空白和高載氣純度,。在進樣系統(tǒng)的滑槽式的設計中,,硅片可連續(xù)進樣,。雙密封,磁加載機械機構以及集成的氧/水氣捕集器,,使得進樣系統(tǒng)實現零大氣污染,,并保持更好的載氣氣體的純度。
ROSI600系列氧分析儀參數1,、產地類別:進口,;
2、測量范圍:碳:0-6.0%,;硫:0-1.75%,;
3、精度范圍:±1ppm或0.5%RSD,;
4,、靈敏度:碳:2 ppm、硫:2 ppm
5,、測量原理:紅外吸收法,;
6、加熱系統(tǒng):高頻爐,。