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德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光柵尺
【產(chǎn)品簡介】
【詳細說明】
德國海德漢(HEIDENHAIN)敞開式直線光柵尺
敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測量的機床和系統(tǒng)
典型應用包括:
- 半導體工業(yè)的測量和生產(chǎn)設備
- PCB電路板組裝機
- 超精密機床
- 高精度機床
- 測量機和比較儀,測量顯微鏡和其它的精密性張力控制測量設備
- 直接驅(qū)動
位置測量
系列 | 描述 |
| 測量長度 |
---|---|---|---|
| LIC暴露的線性編碼器允許的位置測量大路徑遍歷到27米的的和在高速運動,。在他們的尺寸和安裝,,他們相匹配的LIDA 400。 | ±0.08微米 | 27040毫米 |
增量式直線光柵測量
系列 | 描述 |
| 測量長度 |
---|---|---|---|
| LIP敞開式直線光柵的特點是非常小的測量具有很高的準確性和可重復性,。他們根據(jù)干涉掃描原理和特點一DIADUR相位光柵作為測量標準,。 | 高達±0.001微米的 | 到3040毫米 |
| 暴露的線性編碼器的LIF在玻璃基板上制造在SUPRADUR過程中,有一個測量標準,,干涉掃描原理,。它們的特點是精度高,重復性好,,特別是易于安裝,,限位開關和歸巢的軌道。特別版LIF 481 V可用于在高真空到10-7酒吧(請參閱單獨的產(chǎn)品信息表),。 | ±0.04微米 | 到1020毫米 |
| LIDA系列直線編碼器是專門設計的高移動速度可達10米/秒,,是特別容易安裝的各種安裝方式。鋼規(guī)模磁帶,,玻璃或玻璃陶瓷METALLUR刻度作為載體使用,,這取決于各自的編碼器上。他們還配備了限位開關,。 | 高達±0.2微米 | 30040毫米 |
| 在的PP兩坐標編碼器,,與DIADUR過程制造的平面的相位光柵結(jié)構(gòu)作為測量的標準,該標準被掃描interferentially,。這使得可以測量平面內(nèi)的位置,。 | ±0.04微米 | 測量范圍68x68mm |
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