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技術(shù)文章

海德漢敞開式直線光柵尺選型指南

點(diǎn)擊次數(shù)：1851 發(fā)布時(shí)間：2022-1-7

敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng),。

典型應(yīng)用包括：

· 半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備

· PCB電路板組裝機(jī)

· 超高精度機(jī)床

· 高精度機(jī)床

· 測(cè)量機(jī)和比較儀,，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備

· 直驅(qū)電機(jī)

絕對(duì)式編碼器

系列	說明
LIC	LIC敞開式直線光柵尺能夠?qū)π谐踢_(dá)28 m和高速運(yùn)動(dòng)進(jìn)行絕對(duì)位置測(cè)量。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同,。

輸出位置值的編碼器

系列	說明
LIP 200	LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置信息。正弦掃描信號(hào)在讀數(shù)頭中被高倍頻細(xì)分且其計(jì)數(shù)功能將細(xì)分的信號(hào)轉(zhuǎn)換成位置值。與所有增量式編碼器一樣,，借助參考點(diǎn)確定絕對(duì)原點(diǎn)。

增量式編碼器

系列	說明
LIP	超高精度 LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測(cè)量步距,，*的精度和重復(fù)精度,。掃描方式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位光柵。
LIF	高精度 LIF敞開式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是SUPRADUR工藝制造的玻璃基體光柵,，采用干涉掃描方法,。特點(diǎn)是精度高和重復(fù)精度高，安裝特別簡單,，有限位開關(guān)和回零軌,。特殊型號(hào)的LIF 481 V可用于10–7 bar的真空環(huán)境中（參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息"）。
LIDA	高速運(yùn)動(dòng)和大測(cè)量長度 LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用,，支持多種安裝方式,，安裝特別簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,，METALLUR光柵的基體可為鋼帶,，玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān),。
PP	二維坐標(biāo)測(cè)量 PP二維編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵,，采用干涉掃描方法。用于測(cè)量平面中位置,。
LIP/LIF	高真空和超高真空技術(shù) 我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用,。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求,。更多信息,，參見“真空中應(yīng)用的直線光柵尺"產(chǎn)品信息。以下敞開式直線光柵尺專用于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境,。 • 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V • 超高真空：LIP 481 U

LIC 4100選型指南

型號(hào)	基線誤差		基體和安裝方式	細(xì)分誤差	測(cè)量長度
	精度等級(jí)	局部
LIC 4113 LIC 4193	± 3 μm ± 5 μm	≤ ± 0.275 μm/ 10 mm	玻璃或玻璃陶瓷光柵尺,，嵌入在安裝面中	± 20 nm	240 mm 至3040 mm
LIC 4115 LIC 4195	± 5 μm	≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)	鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)緊	± 20 nm	140 mm 至 28440 mm
LIC 4117 LIC 4197	± 3 μm ± 5 μm ± 15 μm	≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)	鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定	± 20 nm	240 mm 至 6040 mm
LIC 4119 LIC 4199	± 3 μm ± 15 μm	≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)	鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上	± 20 nm	70 mm 至 1020 mm
LIC 4119 FS	± 3 μm ± 15 μm	≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)	鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上	± 20 nm	70 mm 至 1820 mm

LIC 2100

型號(hào)	基線誤差		基體和安裝方式	細(xì)分誤差	測(cè)量長度
	精度等級(jí)	局部
LIC 2117 LIC 2197	± 15 μm		鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固定	± 2 μm	120 mm 至 3020 mm
LIC 2119 LIC 2199	± 15 μm		鋼帶光柵尺粘貼在安裝面上	± 2 μm	120 mm 至 3020 mm

**LIP 系列具有*的精度選型指南**

外露式線性編碼器由測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) 和掃描頭組成。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件,。.

模型	精度等級(jí)	基板和安裝	插值誤差	測(cè)量長度
唇 300	± 0.5 微米	Zerodur 玻璃陶瓷嵌入螺栓固定的殷鋼載體中	± 0.01 納米	70 毫米至 270 毫米
產(chǎn)品變體
唇 200	± 1 μm ± 3 μm	帶固定夾的 Zerodur 玻璃陶瓷刻度	± 1 納米	20 毫米至 3040 毫米
測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)		掃描頭
LIP 6000	±1 μm (< 1020 mm) ±3 μm	Zerodur 玻璃陶瓷的刻度,，通過粘合劑或固定夾	± 4 納米	20 毫米至 3040 毫米
測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)		掃描頭

高精度 LIF 系列選型指南

外露式線性編碼器由測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件,。.

刻度帶

掃描頭

模型	基線誤差		基板和安裝	插值誤差	測(cè)量長度
	精度等級(jí)	間隔
LIF 400	± 1 μm ± 3 μm	≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米	Zerodur 玻璃陶瓷或玻璃的刻度,，用 PRECIMET 膠膜粘合	± 12 納米	70 毫米至 1640 毫米

LIDA 400 系列用于高移動(dòng)速度和大測(cè)量長度

外露式線性編碼器由測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成,。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件。.

刻度帶

掃描頭

模型	基線誤差		基板和安裝	插值誤差	測(cè)量長度
	精度等級(jí)	間隔
利達(dá) 473 利達(dá) 483	± 1 μm ± 3 μm ± 5 μm	≤ ± 0.275 微米/ 10 毫米	玻璃或玻璃陶瓷刻度,，粘合到安裝表面	± 45 納米	240 毫米至 3040 毫米
利達(dá) 475 利達(dá) 485	± 5 微米	≤ ± 0.750 μm / 50 mm（典型值）	鋼尺帶拉入鋁擠壓件并張緊	± 45 納米	140 毫米至 30040 毫米
利達(dá) 477 利達(dá) 487	± 3 μm ± 5 μm ± 15 μm	≤ ± 0.750 μm / 50 mm（典型值）	鋼尺帶拉入鋁擠壓件并固定	± 45 納米	240 毫米至 6040 毫米
LIDA 479 LIDA 489	± 3 微米 ± 15 微米	≤ ± 0.750 μm / 50 mm（典型值）	鋼帶,，粘合到安裝表面	± 45 納米	高達(dá) 6000 毫米

LIDA 200 系列用于高移動(dòng)速度和大測(cè)量長度

外露式線性編碼器由測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)和掃描頭組成,。請(qǐng)從列表中選擇這兩個(gè)組件。.

刻度帶

掃描頭

模型	基線誤差		基板和安裝	插值誤差	測(cè)量長度
	精度等級(jí)	間隔
利達(dá) 277 利達(dá) 287	± 15 微米		鋼尺帶拉入鋁擠壓件并固定	± 2 微米	高達(dá) 10000 毫米
利達(dá) 279 利達(dá) 289	± 15 微米		鋼尺帶,，粘在安裝面上	± 2 微米	高達(dá) 10000 毫米

二坐標(biāo)測(cè)量用PP系列

模型	精度等級(jí)	基板和安裝	插值錯(cuò)誤	測(cè)量長度
聚丙烯 281	± 2 微米	玻璃格板,，全表面貼合	± 12 納米	測(cè)量范圍 68x68mm

LIP/LIF 系列適用于高真空和超高真空技術(shù)

類型	基線誤差		基板和安裝	插值誤差	測(cè)量長度
	精度等級(jí)	間隔
唇 481V 唇 481U	± 0.5 微米 ± 1 微米	≤ ± 0.175 微米/ 5 毫米	Zerodur 玻璃陶瓷或帶固定夾的玻璃刻度	± 7 納米	70 毫米至 420 毫米
LIF 471V LIF 481V	± 3 微米	≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米	Zerodur 玻璃陶瓷或帶固定夾的玻璃刻度	± 12 納米	70 毫米至 1640 毫米
LIC 4113 V LIC 4193 V	±1 µm（僅適用于 Robax 玻璃陶瓷）、±3 µm,、±5 µm	≤ ±0.275 微米/10 毫米	玻璃陶瓷或玻璃上的 METALLUR 光柵	± 20 納米	240 毫米至 3040 毫米

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上海安構(gòu)機(jī)械設(shè)備有限公司

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