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D-E20 ? D-E21 單級(jí)電容位移傳感器（柱狀）
大范圍量程,，（亞）納米測(cè)量分辨率

非接觸式測(cè)量，可用于多種應(yīng)用,，如測(cè)量位移、振動(dòng),、平面度/直線度,、圓度/徑向跳動(dòng)誤差、水層厚度等,。
位置測(cè)量,，高線性度
可達(dá)亞納米級(jí)測(cè)量分辨率
量程大達(dá)到5,000微米
安裝便利，便于集成
高傳感器帶寬

電容位移傳感器具有*的測(cè)量精度和工作壽命

單極電容傳感器是直接測(cè)量型位移傳感器,。電容傳感器利用電極面和被測(cè)面之間的均勻電場(chǎng)來(lái)測(cè)量?jī)烧咧g的電容值變化,，從而實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量,。非接觸測(cè)量過(guò)程保證了*的測(cè)量分辨率,、線性度和高測(cè)量帶寬,。

單極電容傳感器和信號(hào)處理器配合使用后，可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的測(cè)量分辨率和高達(dá)5 kHz 的測(cè)量帶寬,。對(duì)于高動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用,，5 kHz 帶寬下的測(cè)量分辨率仍然保持在納米級(jí)。電極面和被測(cè)面之間的高度平行安裝能夠使得單極電容傳感器獲得<0.1%的測(cè)量線性度,。

護(hù)環(huán)電極保證了更高的測(cè)量線性度

單極電容傳感器的電極設(shè)計(jì)對(duì)測(cè)量線性度具有較大的影響,。傳感器采用了先進(jìn)的護(hù)環(huán)電極設(shè)計(jì),，消除了傳感器電極邊緣的非均勻電場(chǎng)效應(yīng)，保證了電極面和被測(cè)面之間具有一個(gè)穩(wěn)定均勻的電場(chǎng)測(cè)量區(qū)域,，因此大大提高了電容傳感器的測(cè)量線性度,。

高精度加工

為了達(dá)到高精度的測(cè)量性能，單極電容傳感器的不銹鋼材質(zhì)電極面是由嚴(yán)格的加工工藝和加工公差采用金剛石刀具精磨而成的,，因此具有極度平整光滑的電極面，在使用過(guò)程中請(qǐng)重點(diǎn)保護(hù)電極面,。

遠(yuǎn)距離測(cè)量

配合信號(hào)前置放大器,，單極電容傳感器和信號(hào)處理器之間可實(shí)現(xiàn)1.5米到-10米的電纜總長(zhǎng)度,；配合信號(hào)轉(zhuǎn)換器,，兩者之間的電纜長(zhǎng)度可大于10米，滿足遠(yuǎn)距離測(cè)量應(yīng)用的需要,。

安裝便利,，便于集成

所有的柱狀型單極電容傳感器后端都具有一個(gè)LEMO插座,，可直接插入電纜進(jìn)行電信號(hào)連接,。在安裝或者更換柱狀型單極電容傳感器的時(shí)候,，可以脫離電纜操作大大便利了安裝或拆卸,。

線性度測(cè)試報(bào)告

用戶必須同時(shí)訂購(gòu)傳感器、連接電纜,、前置信號(hào)放大器/轉(zhuǎn)換器（若需要）和信號(hào)處理器,。中國(guó)PI公司在出廠前會(huì)針對(duì)所訂購(gòu)的整套系統(tǒng)進(jìn)行線性度校準(zhǔn)，設(shè)定線性化因子,，增益和偏置等，校準(zhǔn)過(guò)程中消除了電纜電容的影響,，并隨貨提供用戶《線性度測(cè)試報(bào)告》,。

單極電容傳感器配合模擬型信號(hào)處理器可進(jìn)行一個(gè)量程范圍的線性度校準(zhǔn),；配合數(shù)字型信號(hào)處理器可進(jìn)行兩個(gè)量程范圍的線性度校準(zhǔn)并將校準(zhǔn)參數(shù)存儲(chǔ)在處理器中

在線性度校準(zhǔn)過(guò)程中,，中國(guó)PI公司使用高精度的Zygo 雙頻激光干涉儀和高精度的壓電陶瓷平移臺(tái)對(duì)電容傳感器進(jìn)行線性度測(cè)量和校準(zhǔn)