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產(chǎn)品簡介
Q-545 Q?Motion®精密線性平臺
壓電電機可實現(xiàn)高力和小巧設計
寬度僅為45毫米
推/拉力為7牛
帶位置分辨率的增量傳感器
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-6百帕
壓電電機可實現(xiàn)高力和小巧設計
寬度僅為45毫米
推/拉力為7牛
帶位置分辨率的增量傳感器
不帶接裝板的XY組合可供選擇
真空兼容至10-6百帕
詳細介紹
壓電慣性驅動器
壓電陶瓷慣性驅動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅動器,，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的,。慣性驅動原理是基于由特殊驅動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器,。促動器緩慢膨脹,，移動轉子,。由于其慣性，轉子無法跟上促動器隨后的快速收縮,，停留在其位置上,。工作頻率高達20千赫茲時，驅動直接作用在動輪上,，實現(xiàn)大為6毫米/秒的速度,。
真空和無磁性環(huán)境
所有Q?Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達10-6 百帕,?？砂葱杼峁o磁性版本。
直接測量原理
線性平臺配備非接觸式測量光學線性編碼器和參考點開關,。分辨率為1納米,。
應用領域
微裝配, 光子, 光學對準, 顯微鏡, 高能束線設備, 半導體技術, 測試