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費(fèi)斯托FESTO傳感器的分類(lèi)有哪些
費(fèi)斯托FESTO傳感器的分類(lèi)有哪些
費(fèi)斯托FESTO傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的,。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。 薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,，相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),，同樣可將部分電路制造在此基板上,。 厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料，涂覆在陶瓷基片上制成的,，基片通常是Al2O3制成的,，然后進(jìn)行熱處理，使厚膜成形,。 陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn),。 完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié),。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,，在某些方面，可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型,。 每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足,。由于研究、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,，以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,，采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理,。 （空侶網(wǎng)暖通專(zhuān)家提供）6、傳感器根據(jù)測(cè)量目的不同分類(lèi) 物理型傳感器是利用被測(cè)量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的,。 化學(xué)型傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分,、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。 生物型傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,，用以檢測(cè)與識(shí)別生物體內(nèi)化學(xué)成分的傳感器
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