
由于金屬塊體材料的電阻和金屬薄膜的電阻很低,,他們的測量采用四端接線法,。為了滿足實際的需要,本儀器采用四探針法原理來實現(xiàn)對不同金屬,、半導體,、導電高分子材料的電阻及電阻率的測量??捎糜诟咝N锢斫逃龑嶒?,對導體/半導體/金屬薄膜材料的電阻 及電阻率的測試及研究。本產(chǎn)品的電阻測量范圍可達10-5—106Ω,。 SB100A/3型四探針導體/半導體電阻率測量儀是由SB118/1型精密電壓電流源以及SB120/2四探針樣品平臺二臺儀器構成,。 l SB118型精密直流電壓電流源 (詳見該產(chǎn)品使用說明書) 直流電流源 a) 電流輸出范圍:1nA~200mA,輸出電壓不小于5V,; b) 量程:分五檔,,20μA、200μA,、2mA,、20mA、200mA,; c) 電流輸出的基本誤差:0.03%RD±0.02%FS(20±2℃),;其中50~200mA為0.05%RD±0.02%FS。 直流電壓源 a) 電壓輸出范圍:5μV~50V,,負載電流不小于10mA(20mV以上),; b) 量程:分五檔,20mV,、200mV,、2V、20V,、50V,,每檔均有粗調(diào)和細調(diào); c) 電壓輸出的基本誤差:0.05%RD±0.02%FS(20±2℃),。 數(shù)字電壓表(4?LED)利用電壓源部分“取樣”端可對被測電壓進行測試 a) 測量量程 20mV,,200mV,,2V,20V,,200V b) zui高分辨力 可達1μV c) 基本誤差為 0.03%RD±0.02%FS (20±2oC) l SB120/2四探針樣品平臺(詳見該產(chǎn)品使用說明書) 為被測薄膜樣品,,利用四探針測量方式測量導體/半導體樣品的電阻和電阻率,提供了方便,。 |