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利用紅外光譜中分子振動模的吸收帶,，可以分析薄膜的組成。此外,，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測量,。

傅立葉紅外光譜儀FTIR*適用

集成賽默飛世爾Thermo Fisher制造的型號FTIR iS50紅外光譜儀。它也適用于一般的振動光譜,。

光譜橢偏儀SENDIRA用于測量薄膜厚度,，折射率，消光系數(shù)以及體材料,，單層和多層堆疊膜的相關(guān)特性,。特別是覆蓋層下面的層在可見范圍內(nèi)是不透明的，現(xiàn)在也可以進行測量,。同時可以分析材料的組成和大分子基團和分子鏈的走向,。

SENDIRA紅外光譜橢偏儀

SENTECH光譜橢偏儀SENDIRA是專門為紅外應(yīng)用(FTIR)設(shè)計的。緊湊型測量臺包括橢圓儀光學(xué)部件,，計算機控制角度計,，水平樣品臺，自動準直透鏡,，商用FTIR和DTGS或MCT探測器,。FTIR在400 cm-1 ～6,000 cm-1 (1.7 µm – 25 µm)光譜范圍內(nèi)提供了*的精度和分辨率。

光譜橢偏儀SENDIRA主要用于薄層的振動光譜分析,。應(yīng)用范圍從介質(zhì)膜,、TCO、半導(dǎo)體膜到有機膜層,。SENDIRA是由SpectraRay/4 軟件操作,，另外還提供了FTIR軟件,。