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真空泵的選用

閱讀：816 發(fā)布時(shí)間：2014-1-3

真空泵的選用

1,、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級,。

2,、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,，如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,。

     3,、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。


     4,、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,，因而,，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來,，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦,，而三極型濺射離子泵,，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速,，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度,。另外,，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空,；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用,。

     5,、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),，應(yīng)該選各種無油泵,，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵,、濺射離子泵,、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,，可以選擇有油泵,，加上一些防油污染措施，如加冷阱,、障板,、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求,。


     6,、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣,，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等,。選擇真空泵時(shí),，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,，如冷凝器、除塵器等,。


     7,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵,，或者把油蒸氣排到室外,。

8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施,。

真空泵的用途介紹

真空泵在使用的需注意的幾點(diǎn)操作方法

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