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中國開始銷售納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)“VS1800” ：此外,，2010年制定了有關三維表面形態(tài)評估的標準ISO 25178,，確立了評估方法，在這種背景下,，實施三維測量的企業(yè)和研究機構等日益增多。因此，需要我們急切實現(xiàn)有關表面形態(tài)測量上的測量與分析的簡單化以及應對多種樣品的測量問題,。
此次發(fā)售的“VS1800”產(chǎn)品， 搭配了符合ISO 25178標準的分析工具 “ISO 25178參數(shù)對比工具”,。在ISO 25178標準中規(guī)定了評估表面性狀的32個項目的參數(shù),，但在對比樣品時，選擇適合評估的參數(shù)很難,，成為分析業(yè)務的難題,。“ISO 25178參數(shù)對比工具”，通過按差異程度大小順序自動對測量的參數(shù)值進行依次排序,，可輕松選出適合對比樣品的參數(shù),，從而支持客戶的分析業(yè)務。
此外,，“VS1800” 產(chǎn)品,，通過光干涉方法*4除了可實現(xiàn)大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率*5,、高重現(xiàn)性外,，亦通過日立高新技術科學自主研發(fā)的技術，繼承了多層膜的無損傷測量等傳統(tǒng)產(chǎn)品的高測量性能,。此外,，該產(chǎn)品還可搭配“大傾斜角測量選配 ”*6功能，通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化,，實現(xiàn)傳統(tǒng)的光干涉方式無法實現(xiàn)的大傾斜角斜面測量,，從而應對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。
中國開始銷售納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)“VS1800”
l2019年3月5日,，日立高新技術科學公司宣布,，在中國開始銷售利用光干涉原理進行非接觸式無損傷三維表面形態(tài)測量的納米尺度3D光學干涉測量系統(tǒng)“VS1800”，該產(chǎn)品搭配有支持多目的表面測量標準“ISO 25178*1參數(shù)對比工具”,，通過簡單而準確的樣品測量支持客戶的分析業(yè)務,，與此同時，憑借不斷創(chuàng)新積累的三維測量性能,，實現(xiàn)高精度,、高分辨率的表面性狀的測量。
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