產品簡介
1.溫度1700℃,加熱區(qū)為300mm,。
2.爐體采用雙層爐殼結構,雙層爐殼之間裝有風機,,可以快速升降溫,,爐殼表面溫度低。
3.爐管采用99高純剛玉管,、兩端采用SUS304高真空法蘭密封,。
4.爐膛材料采用優(yōu)質的進口氧化鋁多晶纖維真空吸附制成,節(jié)能50%,,加熱爐膛為一體化,,方便取放實驗物料、更換爐管
詳細介紹
真空管式電阻爐,,具有合理的性能設計,,集多項功能于一身,安全性,,可靠性,,實用性均達理想效果。
1.溫度1700℃,加熱區(qū)為300mm,。
2.爐體采用雙層爐殼結構,,雙層爐殼之間裝有風機,可以快速升降溫,,爐殼表面溫度低,。
3.爐管采用99高純剛玉管、兩端采用SUS304高真空法蘭密封,。
4.爐膛材料采用優(yōu)質的進口氧化鋁是多晶纖維真空吸附制成,,節(jié)能50%,加熱爐膛為一體化,,方便取放實驗物料,、更換爐管。加熱元件采用硅鉬棒,。
5,、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調節(jié)技術,儀表控制精度為±1℃,,具有PID調節(jié),、模糊控制,、自整定能力并可編制各種升溫程序,具有超高溫報警功能,,具有熱電偶損壞斷電功能,,具有內置參數(shù)密碼控制功能。
6,、升溫速度為0-20℃/min,,可編寫30段的自動升溫程序,可控硅控制,,配備數(shù)顯的LED電壓表,、電流表,選用B型熱電偶,。
7,、可選配RS-485通訊接口,數(shù)據(jù)管理軟件,,具有無紙記錄歷史數(shù)據(jù)和升溫曲線,,校正溫度的偏離誤差的功能,可以管理多臺設備和遠程故障的診斷分析,。
8,、多種安全防護設計,安全性能好,,使用壽命長,。
9、電爐可以抽真空,、通氣氛,,真空度可以達到10pa(機械泵),如果需要更高真空度可以選擇分子泵,,達到6.67x10-3pa,。
10、爐體尺寸:704x695x1100mm(深x寬x高),,重量:210kg,。
一 真空管式電阻爐標準配置:
1、304的不銹鋼法蘭1套
2,、密封圈4只
3,、爐塞 4只
4、爐勾 1把
5,、說明書,、保修卡、合格證 1套
6,、剛玉管 1支
二 選配配置:
1,、玻璃轉子流量計、質子流量計和進出口管道
2,、真空泵(機械泵,、分子泵)
3、安裝調試,,培訓
4,、剛玉坩堝
5、備品備件
6,、報警器(超溫,、設備異常)與蜂鳴器(設備運行結束提示
7、自動進氣(氣體保護),、自動放氣(超壓),、自動抽真空
8、一路及多路CVD供氣系統(tǒng)
9,、真空計
三技術參數(shù):