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不同氣體和壓力對真空漏孔漏率的影響
針對目前大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率都是在He 和入口壓力為100 kPa 下的漏率,，采用定容變壓法校準(zhǔn)了銘牌漏率為2.3 × 10-6 Pa·m3/s 的標(biāo)準(zhǔn)真空漏孔在使用H2,、He,、D2三種氣體時,，在不同入口壓力下的漏率,。預(yù)先對系統(tǒng)進行了加熱除氣后計算了系統(tǒng)本底漏率大小,，并探討了本底漏率對校準(zhǔn)漏孔漏率的影響,。結(jié)合粘滯流-分子流理論研究了不同氣體和漏孔入口壓力對漏孔漏率的影響。
近年來,，真空漏孔越來越多地應(yīng)用于航空航天,、電子工業(yè)、電力工業(yè)及制冷工業(yè)等領(lǐng)域,。真空漏孔是向真空端（出口壓力小于1000 Pa）提供穩(wěn)定氣體流量的裝置,，目前,，國內(nèi)外很多計量實驗室和研究機構(gòu)都建立了相應(yīng)的校準(zhǔn)裝置，常用的漏率校準(zhǔn)方法有定容法,、恒壓法,、質(zhì)譜比較法、固定流導(dǎo)法,、分流法等等,。其中定容變壓法適于校準(zhǔn)漏率較大的漏孔，設(shè)備與操作簡單,，對漏孔校準(zhǔn)精度較高,。
目前大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)真空漏孔的漏率都是采用He 在漏孔入口壓力為1 kPa 下標(biāo)定的，而實際工作中常需要校準(zhǔn)真空漏孔在非He 和漏孔壓力大于一個大氣壓下的漏率,。氣體和壓強都會對漏孔的漏率產(chǎn)生一定的影響,，因此，為了獲得更為的漏孔漏率,，有必要研究氣體和壓力對真空漏孔漏率的影響,。本文通過改變漏孔入口端氣體種類和壓力，對同一真空漏孔進行了漏率標(biāo)定,，并初步研究了氣體種類和壓力對漏孔漏率的影響,。
1、漏率校準(zhǔn)機理
根據(jù)定義,，漏率Q 就是氣體量pV 對時間t 的全微分,，即
這就是定容法，即將真空漏孔流出的氣體引入到一封閉系統(tǒng)中,，在系統(tǒng)溫度、體積恒定不變的情況下,，通過測量單位時間內(nèi)系統(tǒng)壓力的變化速率dp/dt,，從而得到漏孔漏率Q 的方法。采用定容法校準(zhǔn)漏孔漏率時,，溫度波動和定容室體積大小等因素對定容法校準(zhǔn)系統(tǒng)會產(chǎn)生一定的影響,，如真空漏孔的接入會帶來系統(tǒng)的容積變化，使測得的系統(tǒng)容積存在誤差,。因此,，認(rèn)為系統(tǒng)溫度需維持在296 K 以避免額外的溫度修正，系統(tǒng)容積不能太小,，一般要大于2 ×10-3m3,。
另外用定容法測漏孔漏率時還需考慮系統(tǒng)自身的漏放氣，也就是系統(tǒng)的本底漏率影響,。圖1 為漏率與時間的關(guān)系,，其中,，線1 代表系統(tǒng)自身漏放氣使本底壓力隨時間變化，使系統(tǒng)本底壓力升高的因素包括系統(tǒng)放氣,、系統(tǒng)管壁滲透和未知泄漏,。線2 代表理想的系統(tǒng)壓力隨時間變化關(guān)系，線2 的斜率dpL/dt 與系統(tǒng)容積V 的乘積即為漏孔漏率,。線3代表實際實驗記錄到的壓力-時間關(guān)系,，為線1 與線2 的疊加。
圖1 壓力隨時間變化關(guān)系
考慮到系統(tǒng)本底漏放氣的影響,，漏孔漏率可計算為
即起始時間相同時,，可用相同時間段內(nèi)的漏率與本底漏率之差表示漏孔的真實漏率。
2,、校準(zhǔn)裝置及校準(zhǔn)方法
2.1,、校準(zhǔn)裝置
標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)裝置如圖2 所示。該校準(zhǔn)裝置主要由氣源,、被校準(zhǔn)漏孔,、標(biāo)準(zhǔn)容積、定容室,、薄膜真空規(guī),、復(fù)合真空計及抽氣系統(tǒng)組成。
圖2 定容法標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)裝置結(jié)構(gòu)原理圖
4,、結(jié)論
(1) 在對系統(tǒng)加熱除氣后降至23℃并在抽真空度至10-6 Pa 條件下對系統(tǒng)密閉靜置,。系統(tǒng)自身漏放氣引起的本底漏率為1.15 × 10-8 Pa·m3/s，該系統(tǒng)在此工作條件下校準(zhǔn)漏率大于10 -6 Pa·m3/s 漏孔時可不考慮本底漏率影響,，但當(dāng)漏孔漏率低于10-7 Pa·m3/s 時不可忽略系統(tǒng)漏放氣造成的影響,；
(2) 在100 ～ 400 kPa 壓差范圍內(nèi)，對漏率為2.3 × 10-6 Pa·m3/s 的標(biāo)準(zhǔn)真空漏孔漏率校準(zhǔn)結(jié)果表明,，在H2,、He、D2三種充入氣體下,，漏孔漏率都與壓力平方呈線性關(guān)系,，漏孔氣體處于粘滯流態(tài)；
(3) 對相同漏孔入口壓強下,，充入不同氣體的漏孔漏率進行對比后發(fā)現(xiàn),，漏孔漏率與氣體粘度成反比，相同壓力下He 的粘滯系數(shù)大,，氣體流動性差,，通過漏孔的漏率小,； 而H2粘滯系數(shù)小,，漏孔漏率大,，漏孔氣體為粘滯流。