液環(huán)真空泵在工作時(shí),，在一定溫度下，當(dāng)?shù)蛪禾幍囊后w壓力低于在該溫度下的汽化壓力（即飽和蒸汽壓），液體開(kāi)始汽化而產(chǎn)生氣泡，并隨液體進(jìn)入高壓區(qū)時(shí),，氣泡破裂，周?chē)后w迅速填充原氣泡空穴,，產(chǎn)生水力沖擊,。這種氣泡的產(chǎn)生、發(fā)展和破裂現(xiàn)象就稱(chēng)為汽蝕,。
在液環(huán)真空泵的工作過(guò)程中,，吸入?yún)^(qū)域的壓力與被抽系統(tǒng)的壓力是一致的。也就是說(shuō),，被抽系統(tǒng)的真空度越高,，吸入?yún)^(qū)域的真空度也越高。
液環(huán)真空泵需要用液體作為工作介質(zhì),。每種液體在某一溫度下都有對(duì)應(yīng)的飽和蒸汽壓,。當(dāng)吸入?yún)^(qū)域的壓力越接近液體的飽和蒸汽壓時(shí)，液體越接近沸騰狀態(tài),。這時(shí),，在吸入?yún)^(qū)域的工作液表面會(huì)產(chǎn)生大量的汽泡,，由于液體在工作腔內(nèi)產(chǎn)生的工作液蒸汽會(huì)占據(jù)部分工作腔的空間,，泵對(duì)外的吸氣能力會(huì)有所下降。當(dāng)吸入?yún)^(qū)域的壓力達(dá)到工作液的飽和蒸汽壓時(shí),，可以認(rèn)為工作腔內(nèi)全部充滿(mǎn)了工作液蒸汽,，此時(shí)泵對(duì)外的吸氣能力接近于0，而此時(shí)泵的汽蝕現(xiàn)象也zui為嚴(yán)重,。
如果工作液是水,，水溫越高，泵的抽氣性能下降越多,。,。
液環(huán)泵的汽蝕損壞和離心式水泵的汽蝕損壞原理是一樣的，都是在汽泡產(chǎn)生和破裂的部位,，金屬表面出現(xiàn)點(diǎn)蝕現(xiàn)象,，嚴(yán)重的會(huì)出現(xiàn)蜂窩狀損壞。如果真空泵葉輪在汽蝕部位有較大的殘余應(yīng)力，還會(huì)引起應(yīng)力釋放,，產(chǎn)生裂紋,。
由于泵汽蝕時(shí)，氣泡在高壓區(qū)連續(xù)發(fā)生突然破裂,，以及伴隨的強(qiáng)烈水擊,，而產(chǎn)生噪聲和振動(dòng)?？梢月?tīng)到像爆豆似的劈劈啪啪的聲音,。實(shí)測(cè)結(jié)果表明，汽蝕引起的振動(dòng)頻率范圍為600～25000Hz,，壓力達(dá)49MPa,。
如果上述氣泡在金屬表面上破裂，金屬表面將受到連續(xù)強(qiáng)烈的水擊,，出現(xiàn)麻點(diǎn),，金屬晶粒松動(dòng)并剝落而成蜂窩狀，甚至穿孔,。汽蝕破壞除機(jī)械作用外,，還伴隨有電解、化學(xué)腐蝕等多種復(fù)雜的作用,。實(shí)際破壞情況表明,，泵過(guò)流部件汽蝕破壞的部位，正是氣泡消失的地方,。