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超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設(shè)備,,主要利用高頻超聲波,,對各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測,,能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔,、裂紋、夾雜和分層等缺陷,,并以圖形的方式直觀展示,。在掃描過程中,不會(huì)對樣品造成損傷,,不會(huì)影響樣品性能,,可有效滿足新能源、半導(dǎo)體,、電力電子,、熱管理材料、金剛石復(fù)合材料,、碳纖維復(fù)合材料等行業(yè)需求,。
1、具備A(點(diǎn)掃描),、B(縱向掃描),、C(橫向掃描)、透射掃描(需配置透射掃描單元及接收探頭選項(xiàng)),、多層掃描,、Tray-托盤掃描,厚度測量等系列掃描模式,。
2,、具備定量測分析功能,以圖像方式直觀顯示被測件內(nèi)部缺陷的位置,、形狀和大小,,并進(jìn)行缺陷的尺寸和面積統(tǒng)計(jì),自動(dòng)計(jì)算缺陷占所測量面積的百分比,;具備缺陷尺寸標(biāo)識(shí),;厚度與測距等功能。
3,、具備圖像著色功能,,可根據(jù)相位翻轉(zhuǎn)自動(dòng)著色,;可根據(jù)灰度等級手動(dòng)著色;可根據(jù)厚度變化,,自動(dòng)著色,;
4、適用于單個(gè)器件的快速掃描分析,,也可批量放置樣品同步進(jìn)行缺陷識(shí)別,快速篩選出不合格品,。
5,、可兼容1~110MHz的超聲探頭。
6,、檢測軟件自主研發(fā),,中英文界面,可根據(jù)客戶需求對功能進(jìn)行持續(xù)升級,。
和伍水浸超聲掃描顯微鏡
產(chǎn)品參數(shù):
序號 | 機(jī)電特性 | 規(guī)格型號 |
1 | 整機(jī)尺寸 | 1000mm×900mm×1400mm |
2 | 水槽尺寸 | 620mm×650mm×150mm |
3 | 有效掃描范圍 | 350mm×300mm×100mm |
4 | 最大掃描速度 | 600mm/s |
5 | 超聲探頭 | 可兼容1~110MHz的超聲探頭,。 |
6 | 定位精度 | X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm |
7 | 重復(fù)定位精度 | X/Y≤±0.01mm,,Z≤±0.02mm |
產(chǎn)品主要配置表:
序號 | 名稱 | 規(guī)格 |
1 | 掃描系統(tǒng) | X軸:直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),;Y軸:伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng);Z軸:步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
2 | 水槽 | 620mm x 650mm x 150 mm |
3 | 超聲發(fā)射,、接收器 | 帶寬1-65MHz |
4 | 高速數(shù)據(jù)采集卡 | 采樣頻率 500MHz |
5 | 工控機(jī) | i5處理器,、內(nèi)存8GB、硬盤1T,、Win10 64位操作系統(tǒng),。 |
6 | 顯示器 | 兩個(gè)27"液晶顯示器 |
7 | 檢測軟件 | 和伍超聲無損檢測軟件 |
行業(yè)應(yīng)用:
鋰電池、塑封IC,、光電器件,、微波功率器件、MEMS器件,、倒裝芯片,、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊,、金剛石復(fù)合片,、電器焊接件、陶瓷材料等,。
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