圖1 光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測系統(tǒng)外型圖（配百級(jí)超凈工作臺(tái)）

光滑表面缺陷的自動(dòng)化檢測系統(tǒng)是利用光學(xué)顯微散射暗場成像技術(shù)與*的基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)的數(shù)字圖像處理算法結(jié)合研制的新穎非接觸的檢測設(shè)備。系統(tǒng)具有環(huán)形分布的光源可以采集任意方向疵病的CCD圖像,；利用光學(xué)顯微散射暗場成像可以達(dá)到對(duì)被測缺陷實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的分辨率,；精密的二維掃描系統(tǒng)與數(shù)字圖像處理算法結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑表面缺陷完成子孔徑掃描和拼接,；采用二元光學(xué)的標(biāo)準(zhǔn)板定標(biāo)程序及可以實(shí)現(xiàn)對(duì)缺陷如劃痕幾何尺寸的定量檢測并精確確定光滑表面上每個(gè)缺陷的幾何參數(shù)的方位,，終自動(dòng)輸出缺陷檢測報(bào)告。該系統(tǒng)是浙江大學(xué)光電系現(xiàn)代光學(xué)儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室楊甬英等教授集多年基礎(chǔ),、數(shù)年攻關(guān)完成的目前*臺(tái)可以對(duì)各種光滑的光學(xué)元件和金屬表面的各種劃痕,、麻點(diǎn)、碎邊等疵病實(shí)現(xiàn)高分辨率,、快速,、數(shù)字化定量檢測的*的高科技設(shè)備，可有效解決人為的目視觀察評(píng)估由于主觀因素介入導(dǎo)致檢測的準(zhǔn)確度低,，效率低的難題,。系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔,、微光元件,、光滑的金屬及硅片表面,、手機(jī)外殼、微縮文字等各類表面缺陷的檢測和文字校驗(yàn),。

儀器技術(shù)指標(biāo)：

1. 被檢缺陷樣品的檢測口徑：50mm×50mm～100mm×100mm,，更大口徑可由用戶提出研制；

2. 缺陷檢測分辨率：小可達(dá)微米量級(jí),；

3. 檢測的缺陷幾何特征：各種劃痕,、麻點(diǎn)、破邊等,、文字缺損校驗(yàn),；

4. 照明及成像系統(tǒng)：環(huán)形均勻光源照明系統(tǒng)、0.7×～4.5×變倍顯微鏡成像系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)顯微散射暗場成像,；

5. 檢測方法：計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制二維移導(dǎo)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)光滑表面的子孔徑掃描,；

6. 標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)：利用二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板定量評(píng)估；

7. 儀器檢測精度：幾何長度相對(duì)誤差優(yōu)于2%,、劃痕寬度誤差控制在微米量級(jí),；

8. 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)：科學(xué)級(jí)CCD相機(jī)，空間分辨率約1K×1K左右或更高,。

9. 自動(dòng)化評(píng)估軟件要求：

• 全口徑子孔徑掃描控制,、圖像匹配拼接、圖像數(shù)據(jù)處理軟件,；
• 二元光學(xué)制作標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)板數(shù)據(jù)庫及評(píng)估系統(tǒng),；
• 全口徑表面缺陷分布及類型的數(shù)據(jù)輸出；
• 微縮文字缺損校驗(yàn)評(píng)估,；
• 軟件具有友好的人機(jī)交互圖形工作界面,，工作于Windows2000以上平臺(tái)。

應(yīng)用范圍：

本系統(tǒng)可應(yīng)用于高科技的光學(xué),、材料,、微電子等國民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域：

1. 系統(tǒng)可以應(yīng)用于高精度的光學(xué)元件、激光器諧振腔,、微光元件等光滑的光學(xué)元件表面的任意方向缺陷如各種劃痕,、麻點(diǎn)、碎邊進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測,，并實(shí)時(shí)輸出檢測報(bào)告,。

2. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的金屬及硅片表面的疵病進(jìn)行非接觸的數(shù)字化定量檢測，并實(shí)時(shí)輸出檢測報(bào)告,。

3. 系統(tǒng)可以對(duì)光滑的手機(jī)外殼,、高精度的液晶屏進(jìn)行表面的劃痕、麻點(diǎn)實(shí)現(xiàn)數(shù)字化定量檢測。

4. 對(duì)各種精密的具有微縮文字的光滑表面實(shí)現(xiàn)文字的缺損檢測,。

圖2是對(duì)一光滑的光學(xué)元件表面缺陷進(jìn)行圖像預(yù)處理后的軟件界面,。

圖3是自動(dòng)化顯示該元件表面缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面。

圖4 是自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息報(bào)告的界面,。

圖2 光滑表面缺陷圖像預(yù)處理后的軟件界面

圖3 自動(dòng)化顯示缺陷位置及對(duì)缺陷信息編號(hào)的界面

圖4 自動(dòng)化輸出缺陷（劃痕）信息報(bào)告

部分訂制清單：