ZKY-III型真空度測試儀主要特點(diǎn)

★基于電離電荷的采樣技術(shù)
ZKY-III型真空度測試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù),。我廠專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸,、所用材料一定時(shí),真空滅弧室里的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性,。因此，我廠*了基于電離電荷的采樣技術(shù),，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性,。

★漏電電流的處理
對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時(shí)，會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,，此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異,。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,，由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,，這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性，并且在數(shù)值上與10E-4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng),。我們采用兩次起動(dòng)高壓的方法,，扣除了漏電電流，保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度,。

★內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸,、材料的不同，當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),，其放電電荷量是不同的,，并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測量,，對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線,。

關(guān)鍵詞：，,，

我廠 的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,，取得了幾乎國內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),，通過數(shù)學(xué)處理，將其特征參數(shù)送入ZKY-2000系列產(chǎn)品,。因此,ZKY-2000系列產(chǎn)品內(nèi)置國內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測量曲線,。
這是國內(nèi)外同類產(chǎn)品中*的。

★完善的輸入保護(hù)電路
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),，測量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,，瞬間的高壓直接加至信號(hào)輸入端的采樣電路上，使其承受十分強(qiáng)的電沖擊,。ZKY-2000的信號(hào)輸入端的采樣電路增加了完備的保護(hù)電路,，即使儀器由于輸入端的高壓沖擊而發(fā)生暫時(shí)工作不正常時(shí)（重新開機(jī)即可），也不會(huì)造成電路部分的損壞,。

：上海勝緒電氣有限公司