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塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正方法
 
一,、校正所需設(shè)備
1、100級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
2,、一臺(tái)用于作對(duì)比,，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器
3、各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子
4,、產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統(tǒng)或類(lèi)似裝置
5,、標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器
6、其它普通電器
二,、校正的基本原理
標(biāo)準(zhǔn)粒子通過(guò)255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,，并由其內(nèi)置泵通過(guò)0.2um的過(guò)濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路，這時(shí),，將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試,，并比校0.3um粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在20%以?xún)?nèi),，認(rèn)為合格,。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器，一要弄清楚其流速,，取樣時(shí)間,，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且,，還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果,。塵埃 
三.,、校正的基本步驟：
現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見(jiàn)的Royco HH200作校正
1、先,，要清楚Royco 323和HH200A有何差別,，其測(cè)試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),，而Royco HH200則為0.1CFM,。
2、將潔凈臺(tái)開(kāi)機(jī),，工作半小時(shí),，其間內(nèi)也打開(kāi)Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時(shí),。
3,、準(zhǔn)備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路,。
4,、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過(guò)噴嘴,。
5,、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
(1)取樣時(shí)間都設(shè)置為00：01：00
(2)取樣次數(shù)都設(shè)置03
(3)取樣模式都設(shè)置為Auto
(4)間隔時(shí)間都設(shè)置為00：00：05
(5)讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注：以上設(shè)置相同，因其流速有10倍差,，故Royco323測(cè)試結(jié)果會(huì)是Royco HH200的10倍,。
6、打開(kāi)255電源,，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后,，保持其工作狀態(tài),。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作,，看其三次的平均結(jié)果,，若在20%以?xún)?nèi)，視為合格,。
8,、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,，重復(fù)該測(cè)試,。
9、以上校正只是對(duì)比校正,，尚用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量,，用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校,。