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技術文章
塵埃粒子計數(shù)器的校正
點擊次數(shù)：2902 發(fā)布時間：2012-8-28
本文介紹的是氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正所需設備、基本原理已經基本步驟,。塵埃粒子計數(shù)器www.chinarainbow.com.hk
一,、校正所需設備
1、100級潔凈房或潔凈臺
2,、一臺用于作對比,，尚在校正期內的塵埃粒子計數(shù)器
3、各粒徑的標準粒子
4,、產生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置
5,、標準粒子氣體產生器
6,、其它普通電器
二、校正的基本原理
標準粒子通過255粒子產生器由液狀霧化成氣體,，并由其內置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,，并比校0.3um粒徑的測試值,。如果其平均值在20%以內，認為合格,。如果不同型號的粒子計數(shù)器,，一要弄清楚其流速，取樣時間,，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且,，還要明白怎樣理解其測試結果,。塵埃粒子計數(shù)器
三.、校正的基本步驟：
現(xiàn)假設對一臺常見的Royco HH200作校正
1,、先,，要清楚Royco 323和HH200A有何差別，其測試原理一樣,，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘）,，而Royco HH200則為0.1CFM。
2,、將潔凈臺開機,，工作半小時，其間內也打開Royco 323和Royco HH200,，讓其預熱半小時,。
3、準備好255的取樣器管,，并搭接好其所有氣體管路,。
4、將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中,，注意勿讓液體超過噴嘴,。
5、設置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
（1）取樣時間都設置為00：01：00
（2）取樣次數(shù)都設置03
（3）取樣模式都設置為Auto
（4）間隔時間都設置為00：00：05
（5）讀數(shù)模式都設置為Cumulative
注：以上設置相同,，因其流速有10倍差,，故Royco323測試結果會是Royco HH200的10倍。
6,、打開255電源,，調節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,，在調至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后,，保持其工作狀態(tài),。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作,，看其三次的平均結果,，若在20%以內，視為合格,。
8,、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子,，重復該測試,。
9、以上校正只是對比校正,，尚用萬用表對其基本參數(shù)測量,，用示波器對其信號捕捉等來輔助調校。