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紫外臭氧清洗機清洗是一個干燥的過程,。而紫外臭氧清洗機內(nèi)會配備臭氧清除裝置，廢氣臭氧在系統(tǒng)內(nèi)分解,，不會造成清潔室內(nèi)的臭氧含量過高從而產(chǎn)生危害,。紫外臭氧清洗機也可配置成連續(xù)加載的清洗線，并可與DI水沖洗系統(tǒng)耦合,，清除表面的顆粒,。應用范圍十分廣泛，在現(xiàn)代信息技術行業(yè)中使用光清洗技術比較普遍,，隨著我國工業(yè)現(xiàn)代化的發(fā)展,，光清洗和光改質技術還將逐步應用于金屬、塑料,、橡膠等工業(yè)生產(chǎn)領域,。
紫外臭氧清洗機的工作原理:
通過產(chǎn)生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(02)分解成臭氧(03),，而254nm波長的紫外光的光能量能將03分解成02和活性氧(0),。在連續(xù)進行的光敏氧化反應中，生成的活性氧原子與活化了的有機物(即碳氫化合物)分子發(fā)生氧化反應,，生成揮發(fā)性氣體(如C02,，CO，H20,NO等)逸出物體表面,，從而清除粘附在物體表面上的有機污染物,，達到清洗的目的。
紫外臭氧清洗機的應用案例包括:表面清潔,、薄膜沉積,、紫外光刻、表面殺菌,、AFM/STM探針清潔,、UV化學反應,、光學部件的清潔、改善樣品表面親水性,、去除表面單分子層,、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等,。
