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一、概述：

采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱結(jié)合配置的高溫測試探針治具,，滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,，通過良好的測控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率,，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

二,、適用行業(yè)：

廣泛用于：生產(chǎn)企業(yè),、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷,、硅,、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率,、測定硅外延層,、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

三,、功能介紹：液晶顯示,，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能,，電阻率單位自動選擇,，儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置,。采用高精度AD芯片控制,，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理,、質(zhì)量輕便,，運(yùn)輸安全、使用方便,；配備軟件可以由電腦操控,，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表,；

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,，同時顯示液晶顯示：電阻,、電阻率、方阻,、溫度,、單位換算、溫度系數(shù),、電流,、電壓、探針形狀,、探針間距,、厚度 、電導(dǎo)率,，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求,。

測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項(xiàng)目要求選購.

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。利用電流探針,、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,，它與單電測直線或方形四探針相比,，大大提高精確度,，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

四,、技術(shù)參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10-4～2×105Ω/□

2.電阻率范圍：10-5×106cm

3.測試電流范圍：0.1μA ,，1μA,，10μA,，100µA,，1mA，10mA,，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻,、電阻率、方阻,、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù),、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距,、厚度 、電導(dǎo)率

7.測試方式: 雙電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10. zui高溫度： 1200℃可調(diào)節(jié),；沖溫值：≤1-3℃,；控溫精度：±1°C

11、升溫速度：9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃,；功率：3kw.

12,、爐膛材料：采用復(fù)合陶瓷纖維材料，具有真空成型,，高溫不掉粉的特征,。

13.測試PC軟件一套，USB通訊接口,，軟件界面同步顯示,、分析、保存和打印數(shù)據(jù),！

14.選購：電腦和打印機(jī)