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按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》,、GB/T 1551-1995《硅,、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》,、GB/T 1552-1995《硅,、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),，本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口,，本機(jī)結(jié)合采用范德堡測(cè)量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng),、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差,，比市場(chǎng)上其他普通的四探針測(cè)試方法更加完善和進(jìn)步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測(cè)量,，更加準(zhǔn)確.

本儀器本儀器采用四探針單電測(cè)量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校,、科研部門,，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料,。液晶顯示,，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能,，電阻率單位自動(dòng)選擇,，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置,。采用高精度AD芯片控制,，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理,、質(zhì)量輕便,，運(yùn)輸安全、使用方便,；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù),，自動(dòng)生成報(bào)表,；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示液晶顯示：電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求,。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購.

參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10-3～2×105Ω/□

2.電阻率范圍：10-4～2×106Ω-cm

3.測(cè)試電流范圍：0.1μA ,，1μA，10μA,，100µA,，1mA,，10mA，100 mA

4.電流精度：±0.2%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻,、電阻率,、方阻、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率

7.測(cè)試方式: 普通單電測(cè)量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10.選購功能: 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭,； 選購3.直線形探頭,； 選購4.測(cè)試平臺(tái)