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HM-331普通四探針方阻電阻率測試儀

按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅,、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》,、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),，本機配置232電腦接口及USB兩種接口,，本機結(jié)合采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng),、探針不等距和機械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,，比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進步,特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量，更加準(zhǔn)確.

本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè),、高等院校,、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具,。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料,。液晶顯示，無需人工計算,，并帶有溫度補償功能,，電阻率單位自動選擇,，儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置,。采用高精度AD芯片控制,，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理,、質(zhì)量輕便,，運輸安全、使用方便,；選配：配備軟件可以由電腦操控,，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成報表,；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率,、方阻,、溫度,、單位換算,、溫度系數(shù)、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求,。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

參數(shù)資料

1.方塊電阻范圍：10-4～2×105Ω/□

2.電阻率范圍：10-5×106cm

3.測試電流范圍：0.1μA ,，1μA，10μA,，100µA,，1mA，10mA,，100 mA

4.電流精度：±0.1%讀數(shù)

5.電阻精度：≤0.3%

6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻,、電阻率、方阻,、溫度,、單位換算、溫度系數(shù),、電流,、電壓,、探針形狀、探針間距,、厚度 ,、電導(dǎo)率

7.測試方式: 普通單電測量

8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<30W

9.整機不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）

10.選購功能: 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭,； 選購3.直線形探頭,； 選購4.測試平臺