產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡介

橢偏儀測膜厚的優(yōu)點?1.測量對象廣泛：可測透明膜,，多層膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被測量的薄膜尺寸可以很小。?3.測量速度快,。（7-13s檢測時間）?4.光學測量方法對樣品表面損傷Z小,。?5.測量精度高，海洋光學橢偏儀可以達到0.1nm的精度,，而國內同類型產(chǎn)品只能達到1nm精度.?6.非苛刻性測量,，樣品可是塊狀固體或薄膜

詳細介紹

海洋光學SpecEl 橢偏儀的基本原理：測量光在反射或者穿透待測樣品時其偏振性質的改變。而偏振性質的改變主要是由樣品的性質,，如厚度d,、折射率n或消光系數(shù)k決定。

•偏振態(tài)的改變主要表現(xiàn)為振幅tan（Psi）和相位cos（Delta）的變化,，而相位的變化會導致干涉條紋的產(chǎn)生,，橢偏儀就是根據(jù)干涉光譜的分析來得出n,k,d.
•橢偏儀優(yōu)勢：非破壞性、非苛刻性,、高精度和高靈敏度

海洋光學SpecEl 橢偏儀

SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率,。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率,，吸光率及膜厚的測量。

集成的精確測量系統(tǒng)

SpecEl由一個集成的光源,，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成,，并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達0.005%,。

SpecEl軟件及Recipe配置文件

通過SpecEI軟件,，你可以配置及存貯實驗設計方法實現(xiàn)一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中,。創(chuàng)建recipe后,，你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實驗。

SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度,，折射率及吸光率,。

配置說明

波長范圍:	380-780 nm （標準）或450-900 nm （可選）
光學分辨率:	4.0 nm FWHM
測量精度:	厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%
入射角:	70°
膜厚:	單透明膜1-5000 nm
光點尺寸:	2 mm x 4 mm （標準）或 200 µm x 400 µm （可選）
采樣時間:	3-15s （zui小）
動態(tài)記錄:	3 seconds
機械公差（height）:	/- 1.5 mm, 角度 /- 1.0°
膜層數(shù):	至多32層
參考:	不用

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