氣動超高真空插板閥是通過電動裝置驅(qū)動閥桿帶動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關(guān)閉,。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流,。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號裝置CC超高真空插板閥主要零件材料
閥體,、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠,、波紋管(軸封)、 腈橡膠,。
CC超高真空插板閥外形及連接尺寸(mm)

在真空系統(tǒng)中,，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小,，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門,。
真空閥門具有下列特點： 　　
壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米2,。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程,。溫度一般不超過-70 ~ +150℃的范圍。 　　
對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性,。 　　
按介質(zhì)壓力真空閥門可分成四組： 　　
低真空閥門：介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱,； 　　
2）中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。 　　
3）高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱,； 　　
4）超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱,。 　　
     作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥,。閘閥卻受到較大的限制,，但這主要是對于大通徑來說的?？捎玫倪€有球 形旋塞閥（球閥）,、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣,，因為旋塞閥需要用油潤滑,，使油汽可能進入真空系統(tǒng)，而這是不允許的,。真空閥門既可用現(xiàn)場 手控和遙控,，也可用電動、電磁傳動（電磁閥）,、氣動和液動控制,。
 　真空閥門關(guān)閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼,、高鋅黃銅JI80,、塑料和其他材料制成。小通徑（口徑在10毫米以下）的截止閥關(guān)閉件可采用膜片密封,。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥,。
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用
開關(guān)氣路，當閥1和閥4關(guān)閉,，閥2打開時,，三科閥門機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路,；當閥2關(guān)閉,，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空,；當閥1和閥4同時打開時,，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空,，此時氣流流經(jīng)擴散泵,。可見,，閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路,，改變氣流的流經(jīng)路線。 　　
2.控制氣流大小,，調(diào)節(jié)真空度在圖1中,，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大??；關(guān)閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣,；通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度,。 　　
3.定量充氣，三科閥門在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,，當小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時,，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時,，就把該體積的高壓氣體放進容器中去,，這樣就起到了定量充氣的作用。
 　真空閥門的種類繁多,，通常按閥門的職能,、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動方式,、材料和用途進行分類,。

二,、 安裝尺寸：

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