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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
1,、連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長(zhǎng)設(shè)備主要特點(diǎn)
該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),，有助于粉料的燒結(jié)更均勻，可大角度傾斜,，方便進(jìn)出料,，傾斜角度在0-35°之間。
2,、設(shè)備組成：加熱系統(tǒng),，進(jìn)料系統(tǒng)，出料系統(tǒng),，氣體控制系統(tǒng),，低真空系統(tǒng)，爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng),，電控操作系統(tǒng),。
(1)加熱系統(tǒng)：
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,，適合中低溫度加熱系統(tǒng),。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,，電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測(cè)溫元件采用K型熱偶,。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),，無(wú)須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升,、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫,、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。
額定功率 | 4KW |
額定電壓 | AC220V 50/60Hz |
最高溫度 | 1200度 |
使用溫度 | 1100度 |
爐管尺寸 | Φ60*420*2+Φ100*360mm
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爐管旋轉(zhuǎn)速率 | 0~60r/min |
爐體傾斜角度 | 0~35° |
爐膛材料 | 氧化鋁,、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫,，PID參數(shù)自整定， 操作界面為10"液晶觸摸屏控制 |
加熱長(zhǎng)度 | 200mm+200mm |
恒溫長(zhǎng)度 | 250mm |
加熱元件 | 電阻絲 |
(2)連續(xù)進(jìn)出料回轉(zhuǎn)CVD生長(zhǎng)設(shè)備進(jìn)料系統(tǒng)：
送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),，停止送料且爐體傾斜最大時(shí),，物料不會(huì)從送料系統(tǒng)外漏,，送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸后可手動(dòng)加料,，設(shè)備可正常運(yùn)行,。
(3)出料系統(tǒng)：
出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。
(4)氣體控制系統(tǒng)：
該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的,，也可以獨(dú)立控制,，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)的機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成,。
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 第一路: 200 SCCM 第二路: 500 SCCM 第三路量程可選 |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
最大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
(5)低真空系統(tǒng)：
該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵,，可以抽真空,，可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。
空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管,，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
(6)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)：
爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,。
3.技術(shù)指標(biāo)：
(1)該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;
(2)整個(gè)爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜,，方便出放料,，傾斜角度在0~35°之間可調(diào);
(3)送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào)，停止送料且爐體最大傾斜時(shí),，物料不從送料系統(tǒng)外漏,。送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸之后可以手動(dòng)加料,，設(shè)備可正常運(yùn)行,。
(4)爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定，不會(huì)上下左右跳動(dòng);轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào),，能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)(>24h),。
