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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
雙獨(dú)立溫區(qū)滑軌爐CVD設(shè)備(可于生長(zhǎng)硫化鉬)主要特點(diǎn)
1.此款設(shè)備提供兩個(gè)獨(dú)立滑動(dòng)的溫場(chǎng),，兩溫場(chǎng)獨(dú)立控制,，每個(gè)溫場(chǎng)的加熱區(qū)的長(zhǎng)度為230mm，可在實(shí)驗(yàn)過程中推進(jìn)或推離樣品,，提供兩個(gè)位置的快升降溫,。
2.縱向多接口真空法蘭設(shè)計(jì)，各種附加接口具有高度可擴(kuò)展性,。航空鋁合金法蘭支架外形美觀,，輕便堅(jiān)固耐腐蝕，安裝調(diào)節(jié)簡(jiǎn)便易學(xué),。避免傳統(tǒng)鈑金法蘭支架的安裝調(diào)節(jié)不便,，在安裝多種附件時(shí)容易導(dǎo)致法蘭偏斜漏氣甚至石英管意外破碎的情況。
3.同時(shí)法蘭端采用卡箍密封,，這樣就使進(jìn)料出料更加的方便,。
4.采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,，參數(shù)自動(dòng)記錄保持,。
5.進(jìn)氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗(yàn)需求配置幾路質(zhì)量流量計(jì)，流量計(jì)的量程也可以選擇不同的配置,，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵,。
雙獨(dú)立溫區(qū)滑軌爐CVD設(shè)備(可于生長(zhǎng)硫化鉬)技術(shù)參數(shù)
雙獨(dú)立溫場(chǎng)滑軌爐BTF-1200C-II-SSL
| 爐管尺寸：外徑（50mm,60mm,80mm,100mm)可選 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 加熱區(qū)長(zhǎng)度：230mm+230mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：80mm+80mm（±1℃） 工作溫度：1100℃ 最高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制,，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度：±1℃ 升溫速度：20度/分鐘 爐門結(jié)構(gòu)：開啟式 工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：4KW |
供氣系統(tǒng)
| 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2)：100sccm,、200sccm、500sccm,； 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec,，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭Φ6 |
低真空系統(tǒng)
| 空氣相對(duì)濕度≤85% 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L/s 極限真空：4X10-2Pa 實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa |
