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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子,綜合 |
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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
設備低真空CVD系統(tǒng)特點
此款CVD系統(tǒng)是由多通道高精度的質(zhì)量流量計,、低真空機組以及1500度高溫管式爐組成。其廣泛應用在半導體,、納米材料,、碳纖維、石墨烯等新材料,、新工藝領域,。
低真空CVD系統(tǒng)加熱區(qū)參數(shù)：
| 爐管尺寸：Φ 50×700mm 加熱元件：硅碳棒 加熱區(qū)長度：160mm 推薦升溫速度：1400℃以下≤10℃/min,，1400℃以上≤5℃/min 額定功率：2.5KW 外型尺寸： 420×295×520 mm 密封系統(tǒng)：爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭（包括精密針閥,，指針式真空壓力表和軟管式寶塔嘴接頭）,，端口可按實際使用擴展。 標準配件：剛玉管1根,，不銹鋼密封法蘭1套,，氟膠密封圈2套，氧化鋁管堵4只,，高溫手套1副,，坩堝鉤1支，小保險1個,。 備注：可選配1200℃,、1400℃、1600℃,、1700℃等不同溫區(qū)的管式爐,。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)：
| 質(zhì)量流量計參考量程（N2)：100sccm、200sccm,、500sccm,、1000sccm （量程可選） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復精度：±0.2% 響應時間：≤10sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa 最大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 備注：可選配一路,、兩路,、三路、四路等以上質(zhì)量流量計,。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)：
| 抽速：10m3/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220V 50HZ 電機功率：0.4kw 進排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計參數(shù)： 1.配用規(guī)管：電阻規(guī),， 2.測量范圍： 105～10-1Pa， 3.測量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×103～5×10-1Pa,， 5.控制方式：繼電器觸點輸出,，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
