潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響,，換而言之，即人,、機器設備,、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配,?！崈襞锔鶕?jù)凈化等級的要用HEPA過濾器、ULPA超空氣過濾器過濾空氣,，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,，以滿足凈化空氣的要求。潔凈棚內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,，一般潔凈室的氣流速度在0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人,、機器等的動作而干擾趨于混亂,、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加,，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,，能以zui適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經(jīng)濟性效果,?！×硪环矫嬗_到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素,，均一氣流若無法保持,，表示風速有異，特別是在壁面,，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難?！〈怪睂恿魇椒较蛞３志粴饬鞅仨殻?span lang="EN-US" style="font-size: medium; margin: 0px; padding: 0px; ">(a)吹出面的風速不可有速度上的差異,；
(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高
(0.2m/s,，
0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,，而
0.5m/s之速度，氣流則較均一,，目前一般潔凈室,，其風速均取在
0.25~0.5m/s之間?！∮绊懸蛩亍∮绊憹崈襞锏臍饬饕蛩睾芏?，如制程設備、人員,、潔凈室組裝材,、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點,，亦應列入考慮因素,。
