潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響,，換而言之,，即人,、機(jī)器設(shè)備,、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配,?！崈襞锔鶕?jù)凈化等級(jí)的要用HEPA過(guò)濾器、ULPA超空氣過(guò)濾器過(guò)濾空氣,，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,，以滿足凈化空氣的要求。

潔凈棚內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,，一般潔凈室的氣流速度在0.25~0.5m/s之間,，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人,、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂,、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高,，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加,，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以zui適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng),，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果,。　另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果,，均一氣流之保持亦為一重要因素,，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異,，特別是在壁面,，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用,，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難?！〈怪睂恿魇椒较蛞３志粴饬鞅仨殻?span lang="EN-US" style="font-size: medium; margin: 0px; padding: 0px; ">(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異,；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s,，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,，而0.5m/s之速度，氣流則較均一,，目前一般潔凈室,，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間?！∮绊懸蛩亍∮绊憹崈襞锏臍饬饕蛩睾芏?，如制程設(shè)備、人員,、潔凈室組裝材,、照明器具等,，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),，亦應(yīng)列入考慮因素。