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無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度,,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,,實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機器,、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染,。
無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢,?應(yīng)遵守下列四項基本原則:
一、不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進入無塵室前,,機臺,、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵,、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服,、帽、鞋,、手套,、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,,才能進入無塵室,。
4)機器及材料帶進無塵室前,,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室,。
5)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間,。
二、不發(fā)生
在控制zui大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時,,也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量,。因物品在移動時,所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生,。故為了控制發(fā)塵量達到zui小限度應(yīng)采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì),;
3)采用發(fā)塵小的潤滑油,;
4)機臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。
三,、不儲備
若能*實施“不攜入”技術(shù),,無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,,在廣大的無塵室內(nèi)要有*潔凈度是不可能的,。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面,。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,,增加了重大微粒子污染的危險性。
在zui高等級的無塵室中從天花板到地面,,*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動,。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數(shù)值。同時,,空氣的流向也必須要有的控制才行,。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,,容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,,使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi),而一部分會附著在周邊機器設(shè)備的表面而引起污染,。
控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止,。
無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度,,使用高性能的過濾器即可容易達到零水平,實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者,、機器,、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染,。
無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢,?應(yīng)遵守下列四項基本原則:
一、不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
1)作業(yè)員進入無塵室前,,機臺,、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理;
2)進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵,、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服,、帽、鞋,、手套,、口罩等。
3)通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,,才能進入無塵室,。
4)機器及材料帶進無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,,經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室,。
5)無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
二,、不發(fā)生
在控制zui大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時,,也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時,,所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到zui小限度應(yīng)采取以下對策:
1)減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài),;
2)采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì),;
3)采用發(fā)塵小的潤滑油;
4)機臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理,。
三,、不儲備
若能*實施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持,。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,,在廣大的無塵室內(nèi)要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要,。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面,。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性,。
在zui高等級的無塵室中從天花板到地面,,*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動,。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數(shù)值。同時,,空氣的流向也必須要有的控制才行,。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,,容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,,使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi),而一部分會附著在周邊機器設(shè)備的表面而引起污染,。
控制氣流可防止微粒子累積,,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。
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