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隨著各類產(chǎn)品工藝的日益精進和要求的提高,催發(fā)了無氧烘箱在工業(yè)用途上的普及,。尤其是半導體行業(yè),,在此類烘箱的需求上日益旺盛。
那么我們所說的無氧烘箱是如何實現(xiàn)無氧環(huán)境的呢,?下面海向小編給大家介紹一下:
無氧烘箱內(nèi)部工作室的無氧環(huán)境主要是通過氮氣置換來實現(xiàn)的,。
往設(shè)備腔體內(nèi)經(jīng)專用進氣口和導管充入高純氮氣,氮氣的一般純度在99.99%以上(可以根據(jù)不同產(chǎn)品對氧含量的不同要求來選擇氮氣純度)。
海向無氧烘箱的氮氣排氧控制系統(tǒng)采用雙路氮氣導入回路,,各向箱內(nèi)提供0~100L/min+0~480L/min的氮氣,,每路配套進口電磁閥,雙流量自動切換,,到達設(shè)定濃度自動關(guān)閉保持低氧濃度環(huán)境,,自動切換至低流量氮氣,大大節(jié)省氮氣消耗量,,也可根據(jù)工藝制程要求,,自行設(shè)定,滿足多種工藝需求,。
氮氣壓力檢測-100kpa~100kpa可設(shè)定,,當腔內(nèi)內(nèi)部氮氣正壓力超出預警壓力值自動報警切斷進氣閥門。
海向建議大型氮氣烘箱或者氧含量要求較低的,,最好自己工廠具備制氮機,,因為保持較低的氧含量就需要不間斷的充入氮氣,對氮氣的流量要求較大,,而瓶裝氮氣的成本相對較高,,故有制氮機是較佳選擇。
氮氣進入后,,經(jīng)過高溫加熱再通過過濾器,,反復循環(huán),達到要求的數(shù)值,。目前,,氧含量檢測主要基于氧氣傳感器。接通電源,,達到一定值,,氧氣傳感器,開始檢測,。
海向建議:不要長時間在潔凈室外使用設(shè)備,。長期在有塵環(huán)境中使用??諝庵械?/span>大量顆粒灰塵會大大降低空氣濾清器的壽命,。
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