3D粗糙度重建模塊可以幫助用戶更加細(xì)致的分析Phenom臺(tái)式掃描電子顯微鏡所得到的圖像,，提取出樣品的隱藏信息，并將其可視化。

3D

3D圖像可以幫助用戶更好的理解樣品特點(diǎn),，使得在2D圖像中很難分辨的凹坑,、劃痕、刻紋等特征,，變得清晰可見(jiàn),。

 粗糙度

平均粗糙度（Ra）及粗糙高度（Rz）的測(cè)量對(duì)于生產(chǎn)工藝的控制和改進(jìn)具有重要意義。使用SEM圖像作為信息收集手段,，可以獲得較傳統(tǒng)（非直接）手段更佳的分辨率,。

3D粗糙度重建模塊是Phenom的理想擴(kuò)展，特別適用于下列領(lǐng)域：

機(jī)械加工的質(zhì)量控制

 紋理分析

? 證物鑒定

? 缺陷&失效分析

?摩擦學(xué)-磨損分析

3D粗糙度重建模塊的主要優(yōu)點(diǎn)：

?   遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)或機(jī)械測(cè)量手段

 高分辨率

 可測(cè)量反射樣品

 直接測(cè)非破壞性

?   創(chuàng)新性全自動(dòng)用戶界面

?   無(wú)需傾斜樣品

?   完整解決方案

?   快速重建

?   適用于任何Phenom