飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 是*的集成化成像分析系統(tǒng),。借助該系統(tǒng)，既可觀察樣品的表面形貌,，又可分析其元素組分,。

研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題,。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的,。借助全面集成、特殊設計的能譜探測器,，飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題,。

能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件,、硬件都是*集成設計在飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 系統(tǒng)中,。

Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實現(xiàn)多點分析，檢測樣品的元素組分,。此外,，該軟件還可以擴展到元素分析線面掃（mapping）功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集,、導出分析數(shù)據(jù),。

Phenom ProX 主要技術參數(shù)