?2017 年 7 月 4 日-7 日,，第 24 屆 IPFA 會議在四川成都盛大舉行,，飛納電鏡攜飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX 出席了此次會議,。

IPFA 是有關(guān)半導(dǎo)體物理分析、失效分析及可靠性方面學(xué)術(shù)水平zui高,、規(guī)模zui大,、影響zui廣的會議，IPFA 是 International symposium on the physical & failure analysis of integrated circuits 的簡稱,，中文全稱集成電路物理與失效分析會議,。1987 年，首屆 IPFA 會議由 IEEE 失效分析分會在新加坡舉辦,，2001 年之前,，IPFA 會議每兩年舉行一次。2002 年起每年舉行一次,。IPFA 已經(jīng)發(fā)展為舉足輕重的可靠性與失效分析會議組織,。在美國，相應(yīng)的會議為 IRPS（可靠性物理會議）和 ISTFA（測試與失效分析會議）,；在歐洲,，相應(yīng)的會議為 ESREF（歐洲電子器件可靠性與失效物理分析會議）。本次 IPFA 會議,，飛納臺式掃描電鏡操作簡單,，快速方便,，成像清晰，能譜靈敏,，設(shè)計精巧給來訪者留下了深刻的印象,。

飛納電鏡應(yīng)用工程師現(xiàn)場給來訪者展示樣品測試

飛納電鏡內(nèi)部集成彩色光學(xué)顯微鏡全景導(dǎo)航（右上角）

由于半導(dǎo)體器件體積小、重量輕,、壽命長,、功率損耗小、機械性能好,。因而適用的范極廣,。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。一般在半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過程中包括了切割,、研磨,、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列工序， 正是在這些過程中,，會造成表面的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化,，所以幾乎每一個步驟都需要對表面進行檢查，而生產(chǎn)大型集成電路就更是如此,。目前,，掃描電鏡在半導(dǎo)體中的應(yīng)用已經(jīng)深入到許多方面。

飛納臺式掃描電鏡 15 秒抽真空,，30 秒成像,，大大提高了半導(dǎo)體器件的檢測效率。操作比光學(xué)顯微鏡簡單,，相對于傳統(tǒng)落地式掃描電鏡能更快地得到掃描電鏡圖像結(jié)果,。飛納電鏡使用長壽命 1500h，高亮度（是鎢燈絲亮度的 10 倍）,，低色差的 CeB6 燈絲,，圖像信號充足。

飛納電鏡拍攝的集成電路內(nèi)部 放大倍數(shù) 20000x

飛納電鏡拍攝的集成電路內(nèi)部 放大倍數(shù) 50000x

飛納電鏡拍攝的微機電電路 放大倍數(shù) 5000x

飛納電鏡拍攝的微機電電路 放大倍數(shù) 10000x

飛納電鏡拍攝的 LED 芯片截面 放大倍數(shù) 70000x

飛納電鏡公司及產(chǎn)品介紹

感謝本次第 24 屆 IPFA 會議,，為半導(dǎo)體行業(yè)的工作者和飛納電鏡筑起了一座橋梁,，讓很多半導(dǎo)體行業(yè)的工作者全面了解飛納電鏡的使用方法及性能，也讓飛納電鏡的工程師了解了半導(dǎo)體行業(yè)的研究熱點與方向,。