2016 年 3 月 1 日,，飛納臺(tái)式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版 Phenom Pro 在清華大學(xué)通過(guò)驗(yàn)收,。清華大學(xué)用戶主要研究信息光電子技術(shù)發(fā)展領(lǐng)域,，包括光電子器件、集成光子器件,、光纖通信與光網(wǎng)絡(luò)、光顯示,、光纖傳感等,。飛納臺(tái)式掃描電鏡高分辨率專(zhuān)業(yè)版 Phenom Pro 可以滿足該用戶課題組所有待觀測(cè)樣品的測(cè)試需求。高單色性的 CeB6 燈絲為飛納臺(tái)式掃描電鏡帶來(lái)高分辨率的同時(shí),，也減少了用戶頻繁更換燈絲的煩惱,，單根CeB6 燈絲的壽命可達(dá) 1500 小時(shí)，平均 2-3 年更換一次,，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)鎢燈絲平均 100 小時(shí)的壽命,。以下是用戶課題組樣品的采用飛納臺(tái)式掃描電鏡拍攝的 SEM 圖片以及用戶學(xué)習(xí)電鏡操作和通過(guò)培訓(xùn)的照片：

硅片上刻蝕光器件

光刻光柵陣列

用戶認(rèn)真學(xué)習(xí)飛納電鏡的照片

順利拿到培訓(xùn)合格證書(shū)

在用戶認(rèn)真學(xué)習(xí)飛納臺(tái)式掃描電鏡后，順利地拿到了培訓(xùn)合格證書(shū),。飛納臺(tái)式掃描電鏡體積小巧,，*防震，對(duì)放置環(huán)境沒(méi)有特殊要求,，放在普通實(shí)驗(yàn)室即可,。對(duì)用戶來(lái)說(shuō)，很有價(jià)值的一點(diǎn)是飛納臺(tái)式掃描電鏡操作簡(jiǎn)單,，15 秒抽真空,，結(jié)合光學(xué)導(dǎo)航和全自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái)，可以快速檢測(cè)樣品,，提高課題組的科研效率,。

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