SEMICON China 是中國的半導(dǎo)體旗艦展覽，每年吸引高數(shù)量和高質(zhì)量的觀眾到場參觀,，為大家提供了解產(chǎn)品、技術(shù)和解決方案的專業(yè)平臺,。

2019 年,，飛納電鏡將攜臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX，在 SEMICON China 2019 為大家?guī)頀呙桦婄R在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用,。

時間：2019 年 3 月 20 日 - 22 日
地點：上海新博覽中心
飛納電鏡展位號：N5 館 5619

飛納臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

光鏡 + 電鏡導(dǎo)航界面 —— 快速尋找 Bonding 位置

飛納電鏡彩色光學(xué)導(dǎo)航窗口 + 低倍 SEM 導(dǎo)航窗口 + 自動馬達(dá)臺,，幫助用戶一鍵找到感興趣位置，丟失視野,。

優(yōu)中心樣品杯 —— 多角度檢測 Bonding 質(zhì)量

飛納電鏡優(yōu)中心 (Eucentric) 樣品杯

飛納臺式掃描電鏡大樣品室版 Phenom XL 的優(yōu)中心樣品杯可以通過傾斜,、旋轉(zhuǎn)樣品，使用戶得到更豐富的形貌特征，輕松,、安全地從各個角度觀察樣品：

· 自動保護系統(tǒng),，用戶無需擔(dān)憂碰撞探頭
· 腔室 3D 動態(tài)顯示，實時模擬顯示樣品與探頭的位置關(guān)系
· 優(yōu)中心樣品轉(zhuǎn)動,，丟失視野

飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX

在半導(dǎo)體領(lǐng)域中,，掃描電鏡可以用來分析材料成型機理，器件失效分析,，工業(yè)工藝控制等問題,，對研究和生產(chǎn)有著至關(guān)重要的作用。

飛納電鏡的高性能,、高穩(wěn)定性,、操作簡單等特性，在半導(dǎo)體領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,。

第五代飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX 是集成化成像分析系統(tǒng),，分辨率提升 20%，進一步增加應(yīng)用范圍,，更加適用于對電子束敏感的樣品,。