掃描電子顯微鏡的設(shè)計思想和工作原理，早在1935年便已被提出來了。1942年,，英國首先制成一臺實驗室用的掃描電鏡,，但由于成像的分辨率很差，照相時間太長,，所以實用價值不大,。經(jīng)過各國科學(xué)工作者的努力，尤其是隨著電子工業(yè)技術(shù)水平的不斷發(fā)展,，到1956年開始生產(chǎn)商品掃描電鏡,。近數(shù)十年來，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué),、醫(yī)學(xué),、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展,。
一.掃描電鏡的特點
和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,，掃描電鏡具有以下特點：
(一) 能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)，樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm,。
(二) 樣品制備過程簡單,，不用切成薄片。
(三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),，因此,，可以從各種角度對樣品進(jìn)行觀察。
(四) 景深大,，圖象富有立體感,。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍,。
(五) 圖象的放大范圍廣,，分辨率也比較高?？煞糯笫畮妆兜綆资f倍,，它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍,。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,，可達(dá)3nm。
(六) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小,。
(七) 在觀察形貌的同時,，還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。
二.掃描電鏡的結(jié)構(gòu)和工作原理
(一) 掃描電鏡原理結(jié)構(gòu)
1.鏡筒
鏡筒包括電子槍,、聚光鏡,、物鏡及掃描系統(tǒng),。其作用是產(chǎn)生很細(xì)的電子束(直徑約幾個nm)，并且使該電子束在樣品表面掃描,，同時激發(fā)出各種信號,。
2.電子信號的收集與處理系統(tǒng)
在樣品室中，掃描電子束與樣品發(fā)生相互作用后產(chǎn)生多種信號,，其中包括二次電子,、背散射電子、X射線,、吸收電子,、俄歇(Auger)電子等。在上述信號中,，zui主要的是二次電子,，它是被入射電子所激發(fā)出來的樣品原子中的外層電子，產(chǎn)生于樣品表面以下幾nm至幾十nm的區(qū)域,，其產(chǎn)生率主要取決于樣品的形貌和成分,。通常所說的掃描電鏡像指的就是二次電子像，它是研究樣品表面形貌的zui有用的電子信號,。檢測二次電子的檢測器的探頭是一個閃爍體,，當(dāng)電子打到閃爍體上時，1就在其中產(chǎn)生光,，這種光被光導(dǎo)管傳送到光電倍增管,，光信號即被轉(zhuǎn)變成電流信號，再經(jīng)前置放大及視頻放大,，電流信號轉(zhuǎn)變成電壓信號，zui后被送到顯像管的柵極,。
3.電子信號的顯示與記錄系統(tǒng)
掃描電鏡的圖象顯示在陰極射線管(顯像管)上,，并由照相機拍照記錄。顯像管有兩個,，一個用來觀察,，分辨率較低，是長余輝的 管子;另一個用來照相記錄,，分辨率較高,，是短余輝的管子。
4.真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)
掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機械泵與油擴散泵組成,，其作用是使鏡筒內(nèi)達(dá)到 10-4～10-5托的真空度,。電源系統(tǒng)供給各部件所需的特定的電源。
(二) 工作原理
從電子槍陰極發(fā)出的直徑20µm～30µm的電子束,，受到陰陽極之間加速電壓的作用,，射向鏡筒,，經(jīng)過聚光鏡及物鏡的會聚作用，縮小成直徑約幾毫微米的電子探針,。在物鏡上部的掃描線圈的作用下,，電子探針在樣品表面作光柵狀掃描并且激發(fā)出多種電子信號。這些電子信號被相應(yīng)的檢測器檢測,，經(jīng)過放大,、轉(zhuǎn)換，變成電壓信號,，zui后被送到顯像管的柵極上并且調(diào)制顯像管的亮度,。顯像管中的電子束在熒光屏上也作光柵狀掃描，并且這種掃描運動與樣品表面的電子束的掃描運動嚴(yán)格同步,，這樣即獲得襯度與所接收信號強度相對應(yīng)的掃描電子像,，這種圖象反映了樣品表面的形貌特征。第二節(jié)掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)大多數(shù)生物樣品都含有水分,，而且比較柔軟,，因此，在進(jìn)行掃描電鏡觀察前,，要對樣品作相應(yīng)的處理,。掃描電鏡樣品制備的主要要求是：盡可能使樣品的表面結(jié)構(gòu)保存好，沒有變形和污染,，樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能,。