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復納科學儀器(上海)有限公司

飛納電鏡為什么可以做到15s抽真空,,30s成像,?

時間:2024-12-13 閱讀:488
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如之前【飛納電鏡:從飛利浦到賽默飛,是最“老"的電鏡,,也是最“新"的電鏡(上篇)】的介紹,,飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 三倉分離和逐級抽真空設計,可以實現(xiàn) 15 秒抽真空 30 秒成像,,這是目前業(yè)界高效率的臺式掃描電鏡,,可謂是掃描電鏡中的“閃電俠"。

 

不同類型掃描電鏡操作所用時長對比圖

 

通過不同電鏡操作用時對比圖可知,,一方面是抽真空耗時,,傳統(tǒng)電鏡因為通倉的設計,載樣抽真空過程需要很長時間,,至少 3 分鐘的樣子,。隨著設備真正服役,真空系統(tǒng)復雜加之維護不到位,,這個等待時間只會越來越久,。另一方面 SEM 成像耗時,傳統(tǒng)電鏡操作界面復雜不說,,自動化智能功能嚴重不足,,很依賴于操作人員的熟練程度,,一個小時往往能拍好 3 個樣品都算快的。

就傳統(tǒng)電鏡抽真空耗時久這一痛點,,飛納電鏡是如何實現(xiàn)抽真空和成像如此之快呢,?

 

PART1. 三倉分離真空設計

 

飛納電鏡從一開始就拋棄傳統(tǒng)的通倉設計,別出心裁把燈絲倉,,光路倉和樣品倉“隔離"設計,,燈絲倉和光路倉通過壓差光闌隔離,光路倉和樣品倉通過“真空鎖"設計隔離,,渦輪分子泵分別對三倉室梯度抽真空,,這樣切換樣品只破壞樣品倉真空,整個換樣過程幾乎不會引起燈絲倉的真空變化,,從而保證燈絲倉真空環(huán)境一直穩(wěn)定在 10-5Pa,,這也是保證晶體燈絲長壽命的前提條件。

 

 

 

 

PART2. 樣品倉設計

 

傳統(tǒng)電鏡樣品倉大開門或者抽屜式設計,,不但會造成抽真空緩慢,,而且樣品倉內(nèi)各種探測器都暴露在空氣中,樣品高度要調(diào)整,,這些都需要警惕否則都會帶來巨大損失。而飛納電鏡真空鎖不單鎖住光路倉,,還包括各種探測器,,進樣之前樣品高度做了限高防呆設計,不存在任何誤操作得風險,,大家可以安心使用,。

 

PART3. 自動進樣設計

 

飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 進樣逐級抽真空設計,一鍵轉(zhuǎn)移到 SEM,,邊進樣邊抽真空,。在樣品倉到達預定真空度前,光路倉可實現(xiàn)真空保持,,而后自動加高壓,,自動調(diào)焦和自動調(diào)節(jié)亮度對比度(B/C)成像,整個過程一氣呵誠,,無需人工干預,,從進樣到清晰成像,1min 之內(nèi)就可以自動完成,。

 

 

 

 

飛納電鏡的真空系統(tǒng)設計,、操作系統(tǒng)和硬件整合都是目前主流市場上做得非常好的,正是由于飛納電鏡諸多匠心設計,,才成為目前市面上高效的掃描電鏡,,也收獲了各種獎項,!


2015  今日顯微鏡學創(chuàng)新獎

 

 

飛納熒光掃描電鏡一體機 Delphi 被授予 2015 今日顯微學創(chuàng)新獎,表彰其整合光電關聯(lián)技術的創(chuàng)新,。

 

2009 德國設計大獎

 

 

由德國設計學會頒發(fā)的德國設計大獎是世界設計界的最高獎項之一,,其以提名標準的嚴格而聞名,被譽為“桂冠中的桂冠",。

 

2008 GIO 工業(yè)設計獎

 

 

GIO 工業(yè)設計獎是荷蘭的設計類獎項,,用以表彰專業(yè)的設計技術。Phenom 飛納在 2008 年獲此殊榮,,證明了其設計水平,。

 

2008 創(chuàng)新技術獎

 

 

荷蘭 Het Instrument 展覽會期間,Phenom 飛納榮獲實驗室器材領域中的創(chuàng)新技術獎,,再次證明了其設計理念,。

 

2008 PTB-年度最佳產(chǎn)品

 

 

美國 Phonics Tech Briefs (PTB) 雜志授予 Phenom 飛納年度最佳產(chǎn)品。

 

2007 美國商務部杰出創(chuàng)新獎 

 

 

美國商務部技術管理局決定授予 Phenom 飛納杰出創(chuàng)新獎,,以表彰其“帶來的全新視野,,促進了科學、技術,、工程等領域中的教學與研究,。

 

2007 紅點設計獎

紅點設計獎?chuàng)碛?50 多年的悠久歷史,被譽為設計界中的奧斯卡,,最大最尊貴的設計獎項,。

 

 2006 荷蘭機電學大獎

因其“在機械電子領域中,合作研發(fā)與制造能力"榮獲荷蘭機電學大獎,。

 

臺式場發(fā)射掃描電鏡

 

如果你還在為:

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