11
當(dāng)前位置：復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司>>技術(shù)文章>>掃描電鏡的基本原理詳細(xì)介紹下
掃描電鏡的基本原理詳細(xì)介紹下
掃描電鏡是一種將物質(zhì)表面形貌放大成圖像的高分辨率成像技術(shù)，它采用電子束掃描樣品表面,，誘發(fā)樣品表面與電子束相互作用后所產(chǎn)生的多種信號,，利用這些信號進而形成圖像。掃描電鏡可觀察材料表面形貌,、成分分析和結(jié)構(gòu)表征,、宏觀形貌等方面，具有高分辨率,、分析功能以及適用范圍廣等優(yōu)勢,。因此，掃描電鏡已經(jīng)成為表面形貌研究和材料科學(xué)等領(lǐng)域的重要工具,。
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段,。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質(zhì)間的相互作用,，來激發(fā)各種物理信息,，對這些信息收集、放大,、再成像以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的,。
掃描電鏡有一個電子發(fā)射槍，從槍中會發(fā)射出加速,、聚焦過的電子,，在用這些電子來撞擊樣品。樣品在受到撞擊后會產(chǎn)生如同水波一般的信號,，另一個接收器會用來接收這些信號,。這些信號有許多不同的種類，不同的信號有不同的用途,，可以對樣品多個方面的表現(xiàn)進行檢測,。因此，掃描電鏡除了可以成像外,，還可以用來分析樣品的成分形貌,，對樣品的元素進行分析。
掃描電鏡(掃描電子顯微鏡)的基本原理是利用高能聚焦的電子束掃描樣品表面,，通過電子束與物質(zhì)間的相互作用激發(fā)出各種物理信息,，如二次電子、背散射電子等,。這些物理信號的強度隨樣品表面特征而變化,，并被相應(yīng)的收集器接受，經(jīng)過放大器放大后,，送到顯像管的柵極上,，用來同步地調(diào)制顯像管的電子束強度，即在熒光屏上形成與樣品表面特征相對應(yīng)的畫面,。