掃描電鏡樣品的制備對顯微圖像的效果影響非常大,。如果制備的樣品不適合電鏡的觀察條件,，即使掃描電鏡性能再好也難以得到高質(zhì)量的圖片和準確的分析結(jié)果,。通常來說,，對于不導電樣品,，如紙張,、塑料,、陶瓷等，工程師都建議對其鍍膜噴金,，這是什么原因呢,？

增強導電性

非導電性樣品絕緣電阻非常大，在電子束持續(xù)掃描下,，樣品表面逐漸積累負電荷,，表面帶負電，將會排斥入射電子束,，影響二次電子,、背散射電子等信號產(chǎn)生，并影響探測器接收,，造成圖像亮度突變,、圖像晃動等,，使分析時難以定位和聚焦，這就是所謂的“荷電效應",。

鍍一層導電薄膜可以提高樣品的導電性,，表面的負電荷將會通過導電膜釋放入大地，消除荷電現(xiàn)象,，連續(xù)的導電膜也可以提高樣品的導熱性,，減小熱損傷。

如圖 1a 所示,，在鍍膜以前,，樣品異常發(fā)亮，通過改變亮度對比度也無法獲得好的成像效果,，當鍍膜以后（圖1b）,，獲得了更高質(zhì)量的圖像。

觀察樣品的過程中,，發(fā)現(xiàn)圖像異常發(fā)亮,，即使更改亮度對比度也無法對其進行調(diào)整，這就是荷電效應,，可以考慮通過噴金鍍膜改善其成像效果,。

增強信噪比

當入射電子與樣品相互作用時，會激發(fā)出多種電子信號,，包括背散射電子（BSE）,、二次電子（SE）等。

背散射電子激發(fā)深度為 1-2μm,，主要反映樣品的成分以及晶向信息等,；二次電子的激發(fā)深度一般小于 10nm，主要表征樣品的表面形貌信息,。

當噴金鍍膜以后,，樣品的背散射電子與二次電子產(chǎn)率更高，可以獲得更充足的信號,，有利于得到高質(zhì)量,、高倍的圖像。

如圖 2 所示,，樣品是 SiC 陶瓷,。未噴金時，圖像的信噪比較差,，可以看到許多明顯的噪點,，不利于聚焦等操作，無法獲得高質(zhì)量的圖像,；噴金以后,，圖像質(zhì)量明顯提升,。

掃描電鏡樣品噴金時需要注意以下幾點：

① 選擇合適的噴金時間與參數(shù)。若鍍膜厚度較大,，將會失去一部分形貌與成分襯度,，若鍍膜厚度較小，提升信號有限,；

② 即使樣品具有一定的導電性,，為了獲得更好的成像質(zhì)量，也可以采取噴金,；

③ 對樣品進行鍍膜噴金以后,，需立即對其進行檢測，防止金鈉米顆粒團聚,，樣品受潮等,，噴金效果將受影響,。