掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,,通過光束與物質(zhì)間的相互作用,,來激發(fā)各種物理信息,,對這些信息收集、放大,、再成像以達(dá)到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的,。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到1nm;放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào),;并且景深大,,視野大,成像立體效果好,。此外,,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合,可以做到觀察微觀形貌的同時進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析,。掃描電子顯微鏡在巖土,、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用,。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用,。
掃描電子顯微鏡基本的功能是對各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色,,例如:生物學(xué),,植物學(xué),地質(zhì)學(xué),,冶金學(xué)等等,。觀察可以是一個樣品的表面,也可以是一個切開的面,,或是一個斷面,。冶金學(xué)家直接看到原始的或磨損的表面??梢院芊奖愕匮芯垦趸锉砻?,晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙,,紡織品,自然的或制備過的木頭的細(xì)微結(jié)構(gòu),,生物學(xué)家可用它研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu),。例如:花粉顆粒,硅藻和昆蟲,。另一方面,,它可以拍出與樣品表面相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。
掃描電子顯微鏡用途:
三維形貌的觀察和分析,;在觀察形貌的同時,,進(jìn)行微區(qū)的成分分析。
觀察納米材料。所謂納米材料就是指組成材料的顆?;蛭⒕С叽缭?.1~100 nm范圍內(nèi),,在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。
進(jìn)行材料斷口的分析,。掃描電子顯微鏡的另一個重要特點(diǎn)是景深大,,圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍,,比光學(xué)顯微鏡大幾百倍,。
觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時,,能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌,。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。
進(jìn)行從高倍到低倍的連續(xù)觀察,。放大倍數(shù)的可變范圍很寬,,且不用經(jīng)常對焦。掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)范圍很寬(從5到20萬倍連續(xù)可調(diào)),,且一次聚焦好后即可從高倍到低倍,,從低倍到高倍連續(xù)觀察,不用重新聚焦,,這對進(jìn)行事故分析方便,。