掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段,。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,，通過光束與物質(zhì)間的相互作用,，來激發(fā)各種物理信息,，對這些信息收集,、放大,、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的,。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm；放大倍數(shù)可以達到30萬倍及以上連續(xù)可調(diào),；并且景深大,，視野大，成像立體效果好,。此外,，掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合，可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質(zhì)微區(qū)成分分析,。掃描電子顯微鏡在巖土,、石墨,、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用,。