掃描電鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器 ,。具有景深大,、分辨率高，成像直觀,、立體感強(qiáng),、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測(cè)樣品種類豐富,，幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌,、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn),。目前,，掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué),、化學(xué),、司法、地球科學(xué),、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究,，僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué),、礦床學(xué),、沉積學(xué)、地球化學(xué),、寶石學(xué),、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì),、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等,。

掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異,。根據(jù)電子槍種類可分為三種：場(chǎng)發(fā)射電子槍,、鎢絲槍和六硼化鑭[5]。其中,，場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,。冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡對(duì)真空條件要求高，束流不穩(wěn)定,，發(fā)射體使用壽命短,，需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗，僅局限于單一的圖像觀察,，應(yīng)用范圍有限,；而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析,。在地質(zhì)領(lǐng)域中,，我們不僅需要對(duì)樣品進(jìn)行初步形貌觀察，還需要結(jié)合分析儀對(duì)樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析,，所以熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為廣泛,。