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臺(tái)式自動(dòng)化掃描電鏡在鋁箔檢測(cè)中的應(yīng)用

壓延鋁箔是鋰電池鋁塑膜的核心材料,,要求成分純度在 98% 以上。Al 表面會(huì)形成具有保護(hù)作用的致密氧化膜,,如果 Al 箔的成分不純,,會(huì)導(dǎo)致表面膜不致密而發(fā)生點(diǎn)腐蝕的現(xiàn)象,嚴(yán)重則會(huì)造成表面膜破壞,,生成 LiAl 合金,,進(jìn)而影響集流體的穩(wěn)定性。因此,,對(duì)鋁箔的品質(zhì)把控,,其微觀(guān)形貌的檢測(cè)是重點(diǎn)內(nèi)容之一,主要包括內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀(guān)察和表面清潔度檢測(cè),。
內(nèi)部結(jié)構(gòu)的觀(guān)察
鋁箔相對(duì)較薄,,通常厚度在 6-15 微米之間。因此為了觀(guān)測(cè)鋁箔內(nèi)部的微觀(guān)結(jié)構(gòu),,以確定內(nèi)部是否存在不良現(xiàn)象,,通常需要對(duì)鋁箔進(jìn)行特殊的制樣處理。此時(shí),,通常使用離子研磨儀對(duì)鋁箔進(jìn)行表面拋光處理,,結(jié)合飛納臺(tái)式掃描電鏡,以觀(guān)察到 Al 真實(shí)的晶型情況。

經(jīng)過(guò)離子研磨制樣處理后的鋁箔,,可以清晰直觀(guān)地看出鋁箔內(nèi)部的結(jié)晶情況,。
清潔度檢測(cè)
鋁箔表面異常種類(lèi)多樣,位置隨機(jī),,如孔洞,,劃痕,臟污等,,這些不良會(huì)影響鋁箔的使用性能,,因此需要對(duì)鋁箔進(jìn)行全面的清潔度檢測(cè)。
1. 手動(dòng)檢測(cè)孔洞
2. 手動(dòng)檢測(cè)各種劃痕

3. 手動(dòng)檢測(cè)油污
由于鋁箔表面異常類(lèi)型多樣,,位置也具有隨機(jī)性,,因此手動(dòng)檢測(cè)時(shí),通常需要具有豐富經(jīng)驗(yàn)的電鏡操作人員進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的作業(yè),,具有一定的誤檢,、漏檢風(fēng)險(xiǎn)。
為了解決這一問(wèn)題,,除了可以作為常規(guī)手動(dòng)分析的掃描電鏡,,Phenom ParticleX 全自動(dòng)清潔度檢測(cè)系統(tǒng) ,基于掃描電鏡和能譜儀為硬件基礎(chǔ),,可以對(duì)大面積范圍的鋁箔進(jìn)行自動(dòng)化的掃描,、識(shí)別,、分析,,應(yīng)對(duì)孔洞、劃痕,、異物顆粒等,,可以提供快速、準(zhǔn)確和可靠的定量數(shù)據(jù)支持,,此外,,對(duì)于識(shí)別到的異常位置,可以一鍵回看,,并支持導(dǎo)出詳細(xì)的數(shù)據(jù)報(bào)告,。


以上圖片截取自一鍵獲取的數(shù)據(jù)報(bào)告。Phenom ParticleX 能自動(dòng)識(shí)別異常位置,,分析內(nèi)容包含掃描電鏡(SEM)圖,、能譜結(jié)果、分類(lèi)等。