通過之前的 “如何通過選擇加速電壓來提高掃描電鏡的圖像質(zhì)量” 與 “樣品導(dǎo)電性對掃描電鏡成像的影響” 這兩篇文章，大家都了解了加速電壓與樣品導(dǎo)電性對圖像的成像質(zhì)量有非常大的影響,。

其實(shí),，除了加速電壓與樣品的導(dǎo)電性，電鏡的束流強(qiáng)度,、圖像亮度對比度,、圖像像散等都會影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。今天，這篇文章將圍繞如何選擇束流強(qiáng)度,，提高樣品的成像質(zhì)量,。

掃描電鏡的發(fā)射束流強(qiáng)度對圖像的信噪比和分辨率（resolution）有著決定性的影響。大束流可以提高圖像的信噪比,，但是分辨率較低,。小束流則正好相反，具有較高的分辨率,，但信噪比較差,。

在這里，小編需要給大家簡單科普一下分辨率與信噪比的含義,，有利于大家理解后面的內(nèi)容：

分辨率是掃描電鏡主要性能指標(biāo),，對成像而言，指能分辨兩點(diǎn)之間的小距離（如圖 1 所示）,。通常來說,，分辨率越高，樣品的邊緣會越鋒利,。

圖1  分辨率定義（兩點(diǎn)間距圖）

對于信噪比,，是指一個電子設(shè)備或者電子系統(tǒng)中信號與噪聲的比例。如圖 2 (a) 所示,，圖像出現(xiàn)許多雪花點(diǎn),，說明圖像的信噪比較差，當(dāng)信噪比較差時,，聚焦會非常困難,，很難獲取高質(zhì)量圖片。

圖 2  信噪比對比

飛納電鏡束流強(qiáng)度默認(rèn)有 Low 或 Charge Red（低束流）,、Image（標(biāo)準(zhǔn)束流）,、Point（能譜點(diǎn)掃）、Map（能譜線面掃）四檔可選,。

通過與用戶交流,，發(fā)現(xiàn)許多用戶通常使用 10kV 與 Image（標(biāo)準(zhǔn)束流），當(dāng)圖像信噪比較差時（雪花噪點(diǎn)比較多）,，會通過增大加速電壓（15kV）與束流強(qiáng)度（Point,、Map）去提高圖像的信噪比。

對于低束流（Low）,，很少有用戶去使用它，但對于經(jīng)常拍攝高倍率圖像的用戶而言,，低束流（Low）的重要性不言而喻,。

現(xiàn)在，通過幾組圖片,，讓大家更好地理解低束流對于高倍率圖像的重要性,。  

1. 樣品為金顆粒,，放大倍數(shù) 150000X

掃描電鏡數(shù)：加速電壓為 15kV，束流強(qiáng)度分別為Low（左）,、Image（右）

2. 樣品為硬質(zhì)合金,，放大倍數(shù)為 10000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為 15kV，束流強(qiáng)度分別為 Charge Red（左）,、Image（右）

3. 樣品為礦石材料,，放大倍數(shù)為 40000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為15kV，束流強(qiáng)度分別為Low（左）,、Image（右）

4. 樣品為電極材料,，放大倍數(shù)為 80000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為 10kV，束流強(qiáng)度分別為 Low（左）,、Image（右）

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5. 樣品為無機(jī)材料,，放大倍數(shù)為 50000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為 15kV，束流強(qiáng)度分別為Low（左）,、Image（右）

通過上述幾組圖片,，可以幫助大家更好地理解束流強(qiáng)度對掃描電鏡成像質(zhì)量的影響。

在使用低束流時,，圖像的分辨率更高,，成像質(zhì)量更好。但是如果樣品的導(dǎo)電性一般,，信號弱,，過低的束流強(qiáng)度會導(dǎo)致圖像聚焦、消像散非常困難和噪音信號太大等問題,，從而影響圖像質(zhì)量,。為了兼顧分辨率與信噪比這種相互矛盾的關(guān)系，選擇適中的束流強(qiáng)度是十分重要的,。

總結(jié)

1. 當(dāng)選用低束流（Low 或 Charge Red）拍攝高倍率掃描電鏡圖像時,，選擇高加速電壓；

2. 當(dāng)選用低束流（Low 或 Charge Red）拍攝高倍率圖像時,，發(fā)現(xiàn)圖像信噪比較差（圖像雪花點(diǎn)較多）,，無法正常聚焦等操作，可以嘗試逐漸增大束流強(qiáng)度（Image Point）,。