掃描電鏡為精密儀器,，在觀察樣品前一定要重視樣品制備,。如果樣品存在問題或制樣不當(dāng)，不僅無法得到理想的效果,，還會對電鏡造成損傷,，影響儀器測試性能，甚至造成設(shè)備故障,，造成不可挽回的損失,。

掃描電鏡樣品制備的 5 個注意事項(xiàng)

1. 樣品為干燥無水固體，無易揮發(fā)溶劑,；
2. 觀察面應(yīng)該清潔,，無污染物；
3. 導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能好,；
4. 電子束下樣品熱穩(wěn)性要好,，且不會被電子束分解；
5. 磁性較強(qiáng)樣品要預(yù)先去磁,。

樣品需要干燥無水,、無易揮發(fā)溶劑。樣品需要放入掃描電鏡真空腔室內(nèi),，如果樣品中含水或易揮發(fā)溶劑,，會在真空環(huán)境中揮發(fā)出來，水蒸氣或揮發(fā)溶劑會加速燈絲陰極材料揮發(fā),，從而極大降低燈絲壽命,，甚至引起燈絲故障；大量氣體分子進(jìn)入真空腔室,，亦會引起電鏡真空錯誤,，甚至造成分子泵故障；同時氣體分子會散射電子,，增加電子束能量分散,，降低儀器分辨能力和信噪比。

解決方案：

針對含水或易揮發(fā)溶劑樣品,，需要將樣品干燥后再放入電鏡進(jìn)行觀察,，為保證樣品干燥過程中表面形貌不被破壞，必要時可采用臨界點(diǎn)干燥和冷凍干燥,。對于含水的生物樣品,，既要保持完好的組織和細(xì)胞形貌,，還要保證樣品充分干燥，因此,，需要經(jīng)過化學(xué)或物理方法固定,、脫水和干燥后再進(jìn)行觀察，或者利用飛納電鏡溫控樣品杯對樣品進(jìn)行成像,。

奶酪掃描電鏡圖像

蘋果掃描電鏡圖像

飛納電鏡溫度控制樣品杯可以自動控溫，適用于生物,、有機(jī)等樣品,，使樣品減少水分的蒸發(fā)，得以保持原貌,，并且減少電子束對樣品的損傷,，延長觀察時間。上圖中奶酪和蘋果未經(jīng)干燥處理,，直接使用溫控樣品杯觀察,。

樣品觀察面需要清潔、無污染物,。樣品在制備,、拿取和保存過程中都要保持干凈無塵，主要污染物為灰塵,、手印,、人體分泌物（口水和汗液）及微量油脂等。因此,，在拿取與制備樣品時需要佩戴干凈無粉手套,，使用的剪刀、鑷子等制樣工具亦要保持干凈,。

對于需要分析的塊狀樣品,，如金屬斷口上通常會黏附油污、碎屑或粉塵等,，它們除了影響觀察結(jié)果之外,，還容易引起電鏡真空腔室和電子光路器件污染。

對于金相樣品,，經(jīng)過環(huán)氧樹脂鑲嵌,、拋磨后，其表面會黏附有拋光膏顆粒,、砂紙顆粒和環(huán)氧樹脂碎屑,，放入掃描電鏡觀察前，需要先用水沖洗干凈,，再用乙醇等有機(jī)溶劑超聲清洗,，烘干處理后即可,。

制備粉末樣品時，其厚度均勻,，表面平整,，且量不要太多，但必須要牢固的粘貼在導(dǎo)電膠上,。樣品放入掃描電鏡前需用較大氣流吹掃（推薦使用除塵氣罐或壓縮氣體）,，以便將未粘牢的樣品顆粒吹掉。

測試的粉末樣品個數(shù)較多時,，制備過程中注意防止樣品交叉污染,。切記 不要在放置電鏡房間內(nèi)吹掃樣品，以免飛起的樣品顆粒污染電鏡,。

樣品導(dǎo)電導(dǎo)熱性能要好,。掃描電鏡聚焦成像時，電子束直接照射樣品表面,，如果樣品材料不導(dǎo)電會產(chǎn)生荷電效應(yīng)（也稱充電效應(yīng)）,。負(fù)電荷電子局部積累，抑制入射電子和出射信號,，引起圖像變形和位移,，無法進(jìn)行聚焦。

針對不導(dǎo)電樣品,，可以采用噴鍍碳或金屬以提高材料的導(dǎo)電,、導(dǎo)熱性能，同時還能增強(qiáng)樣品信號發(fā)出量,。在樣品表面噴鍍導(dǎo)電膜,，對能譜檢測結(jié)果有所影響，針對有些無法噴鍍的樣品,，可采用低真空模式觀察樣品以緩解荷電效應(yīng),。

  方糖掃描電鏡圖像樣品產(chǎn)生充電效應(yīng)                 方糖掃描電鏡圖像低真空下無充電效應(yīng)

電子束下樣品熱穩(wěn)性要好，且不會被電子束分解,。在掃描電鏡正常觀察圖像時,，電子探針的束流通常為 nA 級別，所以對于大多數(shù)樣品,，受熱不是問題,。但對一些熱敏材料會出現(xiàn)損傷，觀察部位出現(xiàn)起泡,、龜裂,、孔洞（熱損傷），甚至有些樣品在高溫下分解，釋放氣體或物質(zhì)（熱分解）,，當(dāng)他們進(jìn)入電鏡內(nèi)部,，勢必會影響電鏡性能，甚至引起故障,。

這類樣品多為生物和有機(jī)聚合物樣品,，在表面鍍膜可以提高樣品的穩(wěn)定性，觀察時也盡量選擇較小加速電壓和束流強(qiáng)度,，以減少電子束對樣品的損傷,。

磁性樣品 會影響電子束運(yùn)動軌跡，導(dǎo)致圖像出現(xiàn)異常和像散現(xiàn)象,。如果小的磁性顆粒沒有粘貼牢固,，容易被吸入電鏡真空腔室內(nèi)部，引起電鏡污染,，造成電鏡成像故障。

因此在觀察磁性材料時需要格外小心,，利用壓縮氣體嚴(yán)格吹掃,。針對一些較強(qiáng)磁性材料必須進(jìn)行消磁處理。