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高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的特點(diǎn)和功能
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡是一款使用高亮度燈絲的高分辨臺(tái)式掃描電鏡,。放大倍數(shù) 130,000倍,,用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu),,基于高亮度燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)的分辨率輕松達(dá)到14nm,同時(shí)具有全自動(dòng) 操作,,15秒快速抽真空,、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點(diǎn),。
(1)高分辨率臺(tái)式掃描電鏡體型小巧,,占用空間小,;(2)強(qiáng)大的軟件功能,,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡(jiǎn)單;(3)軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ),;(4)高分辨率臺(tái)式掃描電鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔,,易于維護(hù)及保 養(yǎng);(5)自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,,迅速定位待測(cè)樣品,;(6)高低壓真空設(shè)計(jì),可調(diào)式電壓,,為不同樣品提供更合適的檢測(cè)環(huán)境,。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡可用于測(cè)量亞微米或納米尺度的樣品;從試表面形貌獲得多方面資料,,在掃描電鏡中,,不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來(lái)成象,而且可以通過(guò)信號(hào)處理方法,,獲得多種圖象 的特殊顯示方法,,還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的,它是分解為近百萬(wàn)個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的,。因而使得高分辨率臺(tái)式掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分 析,,以及通過(guò)電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析,選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm,。
由于高分辨率臺(tái)式掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能,,所以越來(lái)越受到科研人員的重視,用途日益廣泛?,F(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)(金屬材料,、非金屬材料、納米材料),、冶金,、生物學(xué)、醫(yī)學(xué),、半導(dǎo)體材料與器 件,、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治,、災(zāi)害(火災(zāi),、失效分析)鑒定、刑事偵察,、寶石鑒定,、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。