11
當前位置：復納科學儀器（上海）有限公司>>技術(shù)文章>>掃描電子顯微鏡的基本介紹
掃描電子顯微鏡的基本介紹
掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,。當一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子,、俄歇電子,、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子,、透射電子,，以及在可見、紫外,、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射,。同時，也可產(chǎn)生電子-空穴對,、晶格振動 （聲子）,、電子振蕩 （等離子體）。原則上講,，利用電子和物質(zhì)的相互作用,，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質(zhì)的信息,，如形貌,、組成、晶體結(jié)構(gòu),、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等,。
原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用,，可以獲取被測樣品本身的各種物理,、化學性質(zhì)的信息，如形貌,、組成,、晶體結(jié)構(gòu),、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機理,，采用不同的信息檢測器,，使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子,、背散射電子的采集,，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對x射線的采集，可得到物質(zhì)化學成分的信息,。正因如此,，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡,。
掃描電子顯微鏡是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細胞生物學研究工具,，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品,，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng),，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像,，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的,，即使用逐點成像的方法獲得放大像。
原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用,，可以獲取被測樣品本身的各種物理,、化學性質(zhì)的信息，如形貌,、組成,、晶體結(jié)構(gòu),、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機理,，采用不同的信息檢測器,，使選擇檢測得以實現(xiàn)。如對二次電子,、背散射電子的采集,，可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對x射線的采集，可得到物質(zhì)化學成分的信息,。正因如此,，根據(jù)不同需求，可制造出功能配置不同的掃描電子顯微鏡,。
掃描電子顯微鏡是1965年發(fā)明的較現(xiàn)代的細胞生物學研究工具,，主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品,，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng),，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像,，這個像是在樣品被掃描時按時序建立起來的,，即使用逐點成像的方法獲得放大像。